[实用新型]一种可动光学元件调节定位装置有效
申请号: | 201821206369.8 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN208432848U | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 尹光才;彭云平;田清 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B7/02 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镜座 镜筒 位移转换机构 定心簧片 轴向位移 镜片 调节定位装置 可动光学元件 横向位移 本实用新型 镜片安装 曝光设备 柔性连接 污染问题 转换 串扰 密封 制造 调试 加工 | ||
1.一种可动光学元件调节定位装置,包括镜筒(1)和镜座(2),所述镜座(2)中安装镜片(3),其特征在于,还包括:
定心簧片(4),所述镜座(2)通过所述定心簧片(4)与所述镜筒(1)柔性连接,所述定心簧片(4)能够为所述镜座(2)提供定心功能;
多个位移转换机构(5),设置在所述镜筒(1)和所述镜座(2)之间,所述位移转换机构(5)能将其自身的横向位移转换为所述镜座(2)的轴向位移,以调节所述镜片(3)相对于所述镜筒(1)的轴向位移或倾斜角度。
2.根据权利要求1所述的可动光学元件调节定位装置,其特征在于,所述位移转换机构(5)包括变形件(51)和驱动元件(52),所述镜筒(1)的下部设置有支撑座(11),所述变形件(51)的一端安装在所述支撑座(11)上,另一端与所述镜座(2)连接,所述驱动元件(52)安装在所述变形件(51)的内部,所述驱动元件(52)能够驱动所述变形件(51)发生横向变形,及在所述镜筒(1)的轴向产生位移。
3.根据权利要求2所述的可动光学元件调节定位装置,其特征在于,所述变形件(51)为具有多个柔性铰链的多边形结构。
4.根据权利要求3所述的可动光学元件调节定位装置,其特征在于,所述变形件(51)的顶面和底面平行设置,所述顶面与所述镜座(2)连接,所述底面与所述支撑座(11)连接,所述顶面和所述底面之间通过所述柔性铰链连接。
5.根据权利要求3所述的可动光学元件调节定位装置,其特征在于,所述驱动元件(52)横向安装在所述变形件(51)的两端,所述驱动元件(52)的横向位移带动所述变形件(51)的轴向变形,进而带动所述镜片(3)相对于所述镜筒(1)产生轴向位移或改变倾斜角度。
6.根据权利要求3所述的可动光学元件调节定位装置,其特征在于,所述变形件(51)呈轴对称结构。
7.根据权利要求1所述的可动光学元件调节定位装置,其特征在于,所述位移转换机构(5)均布设置在所述镜筒(1)和所述镜座(2)之间。
8.根据权利要求2所述的可动光学元件调节定位装置,其特征在于,所述驱动元件(52)为电机或微调螺杆。
9.根据权利要求1所述的可动光学元件调节定位装置,其特征在于,所述定心簧片(4)呈平板圆环状,所述定心簧片(4)上设置有至少两个预设弧长的弧形孔(41),所述弧形孔(41)将所述定心簧片(4)分为内圈(42)和外圈(43),所述内圈(42)与所述镜座(2)连接,所述外圈(43)与所述镜筒(1)连接,所述内圈(42)与所述外圈(43)能够在轴向产生相对位移。
10.根据权利要求9所述的可动光学元件调节定位装置,其特征在于,所述弧形孔(41)沿所述定心簧片(4)的圆心呈圆周均布设置。
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