[实用新型]一种硅片传输装置及硅片传输系统

权利要求书

1.一种硅片传输装置，其特征在于，包括：

运输台(1)，用于将第一硅片和第二硅片先后运至指定位置；及

夹持组件(5)，所述夹持组件(5)与所述指定位置对应，且能够夹持先到达所述指定位置的所述第一硅片的至少一个侧边，并在水平和垂直方向有一定自由度，以使所述第一硅片与所述运输台(1)之间形成容纳所述第二硅片的容纳空间。

2.如权利要求1所述的硅片传输装置，其特征在于，所述夹持组件(5)包括夹爪(51)、第二固定架以及滑动机构，所述第二固定架设置在所述硅片传输装置的机架上，所述滑动机构设置在所述第二固定架上，所述滑动机构连接所述夹爪(51)。

3.如权利要求2所述的硅片传输装置，其特征在于，所述滑动机构包括水平滑动组件(53)和垂直滑动组件(52)，所述水平滑动组件(53)安装于所述第二固定架上，水平滑动组件(53)与所述垂直滑动组件(52)连接，所述垂直滑动组件(52)与所述夹爪(51)连接。

4.如权利要求1所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括限位结构，所述限位结构对应所述指定位置。

5.如权利要求4所述的硅片传输装置，其特征在于，所述硅片传输装置还包括收纳机构，所述收纳机构对应所述指定位置，所述收纳机构的内部设置所述限位结构。

6.如权利要求4或5所述的硅片传输装置，其特征在于，所述限位结构包括上下对应设置的上限位件、下限位件以及设置在所述上限位件与所述下限位件之间的侧面挡板。

7.如权利要求1-5中任一项所述的硅片传输装置，其特征在于，所述运输台(1)包括一条运输轨道，所述指定位置位于所述运输轨道的运输终端；或

所述运输台(1)包括两条呈直角的运输轨道，所述指定位置位于两条所述运输轨道延伸方向的交汇处。

8.如权利要求7所述的硅片传输装置，其特征在于，当所述运输台(1)包括一条运输轨道时，所述运输轨道的运输终端还包括伸缩台(21)；

当所述运输台(1)包括两条呈直角的运输轨道时，两条所述运输轨道中至少一条运输轨道的运输终端包括伸缩台(21)。

9.一种硅片传输系统，包括控制系统，其特征在于，还包括如权利要求1-8中任一项所述的硅片传输装置，所述控制系统分别与所述运输台(1)和所述夹持组件(5)连接。

10.如权利要求9所述的硅片传输系统，其特征在于，所述控制系统包括PLC控制系统和感应装置，所述感应装置对应所述指定位置，用于检测所述第一硅片的位置，所述PLC控制系统分别与所述感应装置、所述运输台(1)和所述夹持组件(5)连接。