[实用新型]一种半导体废气处理设备反应腔体支架

说明书

本实用新型涉及废气处理设备技术领域，具体为一种半导体废气处理设备反应腔体支架，包括安装板和承托板，所述承托板固定焊接在反应腔的腔体外侧壁上，所述承托板包括弧形板，弧形板焊接在反应腔的腔体外侧壁上，且弧形板的上下两端均一体设置连接板，所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂，本实用新型的有益效果是：旋转角度可达300°，完全实现腔体在机台内进出；轻松避开与机台其它零部件的碰触，避免造成零件的损坏；安装有塑料衬套，使腔体旋转更加轻松、自如。本装置通过锁销连接，方便拆装。可以更加轻松的上下移动腔体，实现方便的拆装腔体目的。本装置结构牢固，安全可靠，可一人操作，节省人力。

技术领域

本实用新型涉及废气处理设备技术领域，具体为一种半导体废气处理设备反应腔体支架。

背景技术

1、废气处理设备反应腔体内部高温、剧烈的化学反应等对腔体的材质要求十分苛刻，为了达到更好的处理效果及延长使用寿命，设计的腔体重量一般比较重、体积比较大，反应腔体是安装在水槽上方的，水槽材质一般为耐腐蚀的塑料材质，不能承受重物压力，且不能耐高温，就算换成金属材质也无法避免腐蚀情况，如果反应腔体重力全部施加在水槽上方，水槽会因重力或高温腐蚀塌陷导致废气、废水外泄，造成全厂员工撤离或员工中毒等严重的工安事故，为了解决这一安全隐患，设备厂商反应腔体都设计有独立的固定支撑结构，例如：1、滑轨式，在反应腔体外上方两侧各安装一个固定式滑轨，维修保养时可以像抽屉一样拉出。2、固定式，在制作设备壳体时直接设计有腔体承重梁(铁板或方管等)，安装在反应腔体的下方或者两侧，承载腔体的重力。

1、滑轨式，存在以下缺点：(1)调节能力差，在安装腔体时需要调整腔体的位置，滑轨式只能前后小范围移动腔体，左右无法调节。(2)承载能力差，一般滑轨为3节轨道式，在拆腔体向外拉出时，到最后一节轨道无法承载腔体的重量，很容易断裂掉下，需要2人抬着拉出，(3)使用寿命短，导轨内都有塑料自锁装置(拆卸卡扣)，在靠近腔体高温时老化，拆装时很容易掰断，造成无法拆装；导轨内滚珠进水进异物容易生锈卡死，无法拉动。

2、固定式，存在以下缺点：(1)调节能力差，固定式一般无法调节位置或水平小范围调节.(2)拆装费力，因腔体固定在壳体内部，操作空间受限，拆装需多人抬出。

本装置可以方便快捷省力的拆装腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体废气处理设备反应腔体支架，以解决上述背景技术中提出的滑轨式与固定式调节能力差、承载能力差、使用寿命短、拆装费力等难题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体废气处理设备反应腔体支架，包括安装板和承托板，所述承托板固定焊接在反应腔的腔体外侧壁上，所述承托板包括弧形板，弧形板焊接在反应腔的腔体外侧壁上，且弧形板的上下两端均一体设置连接板，所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂，所述手臂的下端一侧设置突出设置定位柱；

所述安装板的侧壁上焊接两个固定板，且安装板在靠近固定板的一侧底端焊接固定座，所述固定座上通过螺栓安装有千斤顶，两个固定板之间插入第一支撑架的一端，所述第一支撑架的两侧均贯穿设置穿孔，所述固定板与第一支撑架一侧的穿孔均贯穿设置定位销二，所述定位销二与第一支撑架的一侧均贯穿设置锁销孔，且定位销二与第一支撑架通过穿插在锁销孔中的锁销固定，所述第一支撑架的另一侧设置第二支撑架，所述第二支撑架的两侧均设置穿孔，所述第二支撑架一侧的两端交错位于第一支撑架的远离安装板的两端上方，且第二支撑架与第一支撑架相互靠近的穿孔中穿插定位销一，所述定位销一的顶端设置限位台；

所述第二支撑架远离第一支撑架一端设置的穿孔中自上而下插接定位柱，且千斤顶的顶端接触连接定位销二的下端面。

优选的，所述第一支撑架呈“匚”字型设置，且第一支撑架的中部一体连接有加强杆。

优选的，所述第二支撑架呈“工”字型设置，且第二支撑架中部设置的加强杆设置为两根。