[实用新型]一种用于交换半导体晶圆片的中间花篮

权利要求书

1.一种用于交换半导体晶圆片的中间花篮，其特征在于，包括花篮本体，所述花篮本体包括前板、后板、设置在两侧的侧板以及底板，所述前板分为由上至下的第一矩形板、第二矩形板以及梯形板，所述第一矩形板的宽度大于所述第二矩形板的宽度，所述梯形板的顶边与所述第二矩形板的底边贴合，且梯形板的底边长度小于顶边长度，所述后板与所述前板对称设置，所述侧板为矩形侧板，且侧板一边与所述第一矩形板的侧边固定，另一边与所述后板的侧边固定，所述侧板内表面均匀设有竖直的晶片齿；所述底板为矩形底板，且底板一边与所述梯形板的底边固定，另一边与所述后板的底边固定。

2.根据权利要求1所述的一种用于交换半导体晶圆片的中间花篮，其特征在于，所述花篮本体顶部还安装有一圈用于定位的顶板。

3.根据权利要求2所述的一种用于交换半导体晶圆片的中间花篮，其特征在于，所述顶板上开设有定位孔。

4.根据权利要求1所述的一种用于交换半导体晶圆片的中间花篮，其特征在于，所述底板下方还安装有支脚。

5.根据权利要求1所述的一种用于交换半导体晶圆片的中间花篮，其特征在于，所述前板上还开设有观察口。