[实用新型]一种输出空心光束的激光器有效

专利信息
申请号: 201821219448.2 申请日: 2018-07-31
公开(公告)号: CN208508238U 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 韩峰;张祥伟;吴玲玲;陶禹;郭荣礼;刘宝元;陈靖;聂亮 申请(专利权)人: 西安工业大学
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183;H01S5/187;H01S5/32
代理公司: 西安创知专利事务所 61213 代理人: 谭文琰
地址: 710021 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 高铝层 空心光束 圆周边缘 激光器 分布式布拉格反射镜 本实用新型 氧化限制层 输出 源区 电流载流子 电流引导 光学器件 依次设置 缓冲层 体积小 布设 衬底 半导体
【权利要求书】:

1.一种输出空心光束的激光器,其特征在于:包括由下至上依次布设的半导体衬底(9)、缓冲层(11)、N型分布式布拉格反射镜层(8)、有源区(7)、第一高铝层(2-1)、电流引导层(5)、第二高铝层(2-2)和P型分布式布拉格反射镜层(1),所述第一高铝层(2-1)的圆周边缘设置有第一氧化限制层(6),所述第二高铝层(2-2)的圆周边缘由内至外依次设置有第二氧化限制层(3)和P面电极(4),所述P型分布式布拉格反射镜层(1)的上表面设置有刻蚀孔(12),所述半导体衬底(9)底面圆周边缘设置有N面电极(10),所述刻蚀孔(12)的深度小于P型分布式布拉格反射镜层(1)的厚度,所述P面电极(4)和N面电极(10)的横截面均为环形,所述刻蚀孔(12)的孔径小于P型分布式布拉格反射镜层(1)的直径。

2.按照权利要求1所述的一种输出空心光束的激光器,其特征在于:所述第一氧化限制层(6)外圆半径与内圆半径之差为10μm~40μm,所述第二氧化限制层(3)外圆半径与内圆半径之差为5μm~35μm,所述P面电极(4)外圆半径与内圆半径之差为3μm~7μm,所述N面电极(10)外圆半径与内圆半径之差为10μm~20μm;

所述P面电极(4)的厚度为0.5μm~2μm,所述N面电极(10)的厚度为0.5μm~2μm。

3.按照权利要求1所述的一种输出空心光束的激光器,其特征在于:所述半导体衬底(9)的厚度为120μm~150μm,所述缓冲层(11)的厚度为20nm~2μm,所述N型分布式布拉格反射镜层(8)的厚度为2.8μm~5μm,所述有源区(7)的厚度为0.2μm~0.4μm,所述第一高铝层(2-1)的厚度为10nm~50nm,所述电流引导层(5)的厚度为10nm~50nm,所述第二高铝层(2-2)的厚度为10nm~50nm,所述P型分布式布拉格反射镜层(1)的厚度为2.5μm~3.5μm。

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