[实用新型]一种输出空心光束的激光器

权利要求书

1.一种输出空心光束的激光器，其特征在于：包括由下至上依次布设的半导体衬底(9)、缓冲层(11)、N型分布式布拉格反射镜层(8)、有源区(7)、第一高铝层(2-1)、电流引导层(5)、第二高铝层(2-2)和P型分布式布拉格反射镜层(1)，所述第一高铝层(2-1)的圆周边缘设置有第一氧化限制层(6)，所述第二高铝层(2-2)的圆周边缘由内至外依次设置有第二氧化限制层(3)和P面电极(4)，所述P型分布式布拉格反射镜层(1)的上表面设置有刻蚀孔(12)，所述半导体衬底(9)底面圆周边缘设置有N面电极(10)，所述刻蚀孔(12)的深度小于P型分布式布拉格反射镜层(1)的厚度，所述P面电极(4)和N面电极(10)的横截面均为环形，所述刻蚀孔(12)的孔径小于P型分布式布拉格反射镜层(1)的直径。

2.按照权利要求1所述的一种输出空心光束的激光器，其特征在于：所述第一氧化限制层(6)外圆半径与内圆半径之差为10μm～40μm，所述第二氧化限制层(3)外圆半径与内圆半径之差为5μm～35μm，所述P面电极(4)外圆半径与内圆半径之差为3μm～7μm，所述N面电极(10)外圆半径与内圆半径之差为10μm～20μm；

所述P面电极(4)的厚度为0.5μm～2μm，所述N面电极(10)的厚度为0.5μm～2μm。

3.按照权利要求1所述的一种输出空心光束的激光器，其特征在于：所述半导体衬底(9)的厚度为120μm～150μm，所述缓冲层(11)的厚度为20nm～2μm，所述N型分布式布拉格反射镜层(8)的厚度为2.8μm～5μm，所述有源区(7)的厚度为0.2μm～0.4μm，所述第一高铝层(2-1)的厚度为10nm～50nm，所述电流引导层(5)的厚度为10nm～50nm，所述第二高铝层(2-2)的厚度为10nm～50nm，所述P型分布式布拉格反射镜层(1)的厚度为2.5μm～3.5μm。