[实用新型]半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置

权利要求书

1.一种半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置，其特征在于，包括喷淋室，设有喷孔的第一喷杆，用于支撑第一喷杆的第一摆动架，电机，第一偏心轮和第一进液管；所述第一进液管分别与第一喷杆连通，所述第一偏心轮与电机主轴固定连接，第一偏心轮的第一偏心轴与第一摆动架固定连接，电机通过第一偏心轴驱动第一摆动架摆动。

2.根据权利要求1所述的半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置，其特征在于，所述喷淋室侧壁设有滑轨，所述第一摆动架一侧固定有摆动块，摆动块与滑轨滑动连接，所述摆动块设有摆动槽，所述第一偏心轴设于摆动槽内且与摆动槽活动连接。

3.根据权利要求1所述的半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置，其特征在于，所述第一摆动架为框体结构，框体结构内固定有若干第一喷杆，所述框体结构的一侧边为空心结构，所述第一进液管通过空心结构分别与若干第一喷杆连通。

4.根据权利要求2或3所述的半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置，其特征在于，所述半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置还包括设有喷孔的第二喷杆，用于支撑第二喷杆的第二摆动架，第二进液管，第二偏心轮和链条；所述第二进液管与第二喷杆连通，所述第一偏心轮和第二偏心轮通过链条连接，所述第二偏心轮的第二偏心轴与第二摆动架固定连接。

5.根据权利要求4所述的半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置，其特征在于，所述第二摆动架为框体结构，框体结构内固定有若干第二喷杆，所述框体结构的一侧边为空心结构，所述第二进液管通过空心结构分别与若干第二喷杆连通。

6.根据权利要求1所述的半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置，其特征在于，所述半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置还包括用于传输基板的传输带，传输带设于喷淋室内且沿其长度方向设置。

7.根据权利要求6所述的半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置，其特征在于，所述半导体封装清洗设备摇摆喷淋装置还包括干燥室，所述干燥室靠近喷淋室的出口侧，所述干燥室靠内设有入风管和风刀，所述入风管靠近喷淋室一侧，所述风刀远离喷淋室一侧。