[实用新型]一种用于大尺寸蓝宝石窗口片的抛光治具

说明书

本实用新型涉及蓝宝石窗口片抛光领域，特别涉及一种用于大尺寸蓝宝石窗口片的无蜡抛光治具。为解决抛光盘因内外线速度差异，造成的大尺寸蓝宝石窗口片各点的移除率不均衡，防止大尺寸蓝宝石窗口片抛光时容易出现的“塌边”问题，本实用新型提供一种大尺寸蓝宝石窗口片无蜡抛光治具，包括陶瓷盘，无蜡吸附垫，圆形环氧树脂板，大尺寸蓝宝石窗口片，铜盘，通孔，转轴；本实用新型可以使大尺寸蓝宝石窗口片在电机作用力下旋转同时受下盘线速度差影响与圆形环氧树脂板一起自转，避免蓝宝石窗口片在抛光过程中局部磨损太快，减少塌边现象，使得大尺寸蓝宝石窗口片各点的移除率相对均衡。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石窗口片抛光技术领域，特别涉及一种用于大尺寸蓝宝石窗口片的抛光治具。

背景技术

蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底，经过机械抛光表面处理可影响蓝宝石衬底表面性能，传统对大尺寸蓝宝石窗口片抛光治具使用液态蜡或固体蜡将产品贴膜贴合在陶瓷盘上，在压头电机作用力下带动陶瓷盘旋转，因抛光盘内外线速度差异，易造成产品各点的移除率不均衡。

发明内容

为解决上述技术方案中抛光盘因内外线速度差异，造成大尺寸蓝宝石窗口片各点的移除率不均衡，防止大尺寸蓝宝石窗口片抛光时容易出现的“塌边”问题，本实用新型提供一种用于大尺寸蓝宝石窗口片的抛光治具。

本实用新型的技术方案是：一种大尺寸蓝宝石衬底晶片的抛光治具，包括陶瓷盘，无蜡吸附垫，圆形环氧树脂板，大尺寸蓝宝石窗口片，铜盘，转轴。

将无蜡吸附垫张贴与陶瓷盘上，无蜡吸附垫由多层树脂材料组成的复合结构，最上面是玻璃纤维层，中间是黑色软吸附层，下面是背胶层，无蜡吸附垫孔深比大尺寸蓝宝石窗口片成品厚度小0.14毫米；再将圆形环氧树脂板放置在无蜡吸附垫圆孔内，所述圆形环氧树脂板厚度等同于无蜡吸附垫孔深，圆形环氧树脂板外径比无蜡吸附垫孔径小0.2-0.3毫米，将待加工的大尺寸蓝宝石窗口片放置在圆形环氧树脂板方孔内；工作时大尺寸蓝宝石窗口片上方铜盘下压，铜盘内部中空，可注入抛光液；无蜡吸附垫与陶瓷盘均开通孔，通孔开设在无蜡吸附垫圆孔边侧。

本实用新型优点在于：上下盘同时反向转动，大尺寸蓝宝石窗口片受抛光盘内外线速度差异带动环氧树脂板旋转，这样大尺寸蓝宝石窗口片各点的移除率相对均衡。

附图说明

图1为常规抛光治具下盘示意图；

图2为本实用新型下盘示意图；

图3为本实用新型使用放置示意图；

其中：陶瓷盘1，无蜡吸附垫2，圆形环氧树脂板3，大尺寸蓝宝石窗口片4，铜盘5，通孔6，转轴7。

具体实施方式

下面结合附图说明本实用新型：

参照图2，图3，本实用新型包括陶瓷盘1，无蜡吸附垫2，圆形环氧树脂板3，大尺寸蓝宝石窗口片4，将无蜡吸附垫2张贴与陶瓷盘1上，无蜡吸附垫2由多层树脂材料组成的复合结构，最上面是玻璃纤维层，中间是黑色软吸附层，下面是背胶层，无蜡吸附垫孔深比大尺寸蓝宝石窗口片成品厚度小0.14毫米；再将圆形环氧树脂板3放置在无蜡吸附垫2圆孔内，圆形环氧树脂板4厚度等同于无蜡吸附垫2孔深，圆形环氧树脂板3外径比无蜡吸附垫2孔径小0.2-0.3毫米，将大尺寸蓝宝石窗口片4放置在圆形环氧树脂板4方孔内，待抛光面朝上；工作时大尺寸蓝宝石窗口片上方铜盘下压，铜盘中空部注入抛光液。

陶瓷盘1绕转轴7转动，其上贴附的无蜡吸附垫2一起转动，与此同时，上方的铜盘5加抛光液，下降压向大尺寸蓝宝石窗口片，加以合适的压力，随即绕转轴7与陶瓷盘1反方向转动，此时大尺寸蓝宝石窗口片4受到铜盘5转动时的内外线速度差异，而带动圆形环氧树脂板3在无蜡吸附垫2圆孔内自转，同时也受下方陶瓷盘1线速度差影响自转，这样大尺寸蓝宝石窗口片各点的移除率相对均衡。

工作中，由于铜盘接触大尺寸蓝宝石窗口片表面抛光产生磨屑，影响抛光效果，铜盘5中空部分注入的抛光液释放，降低铜盘5温度；同时，由于圆形环氧树脂板3外径比无蜡吸附垫2孔径小，工作时产生磨屑堆积在夹缝中影响圆形环氧树脂板3的自转，通过无蜡吸附垫2与陶瓷盘1的通孔6，可及时甩出落下工作中在无蜡吸附垫2孔内堆积的磨屑。