[实用新型]一种新型真空镀铝机

说明书

本实用新型公开了一种新型真空镀铝机，包括真空镀铝机箱体、观察窗、进气口、真空泵、排气口、显示屏、滚轮、环形蒸发室、电源连接线、坩埚、加热丝、加热管、激光射线口、惰性气体、靶材、基片、高能激光器、尾气净化器、二级净化滤板、后板、除尘滤网、加湿滤网和气体反应盒，所述真空镀铝机箱体上设置有观察窗，所述真空镀铝机箱体右侧设置有真空泵，所述真空泵一侧设置有进气口，所述真空泵上设置有显示屏，所述真空镀铝机箱体底端设置有滚轮，所述真空镀铝机箱体内设置有环形蒸发室，所述环形蒸发室一侧设置有电源连接线，所述环形蒸发室上设置有加热管，该种新型真空镀铝机将高能激光器与环形蒸发室合二为一，提高了镀膜的效率与质量。

技术领域

本实用新型涉及一种数控真空镀膜领域，具体为一种新型真空镀铝机。

背景技术

需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

常用的镀膜机效率较低，且不能对产生的污染气体进行净化。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型真空镀铝机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种新型真空镀铝机，包括真空镀铝机箱体、观察窗、进气口、真空泵、排气口、显示屏、滚轮、环形蒸发室、电源连接线、坩埚、加热丝、加热管、激光射线口、惰性气体、靶材、基片、高能激光器、尾气净化器、二级净化滤板、后板、除尘滤网、加湿滤网和气体反应盒，所述真空镀铝机箱体上设置有观察窗，所述真空镀铝机箱体右侧设置有真空泵，所述真空泵一侧设置有进气口，所述真空泵上设置有显示屏，所述真空镀铝机箱体底端设置有滚轮，所述真空镀铝机箱体内设置有环形蒸发室，所述环形蒸发室一侧设置有电源连接线，所述环形蒸发室上设置有加热管，所述加热管上缠绕有加热丝，所述环形蒸发室上端设置有高能激光器，所述高能激光器前端设置有激光射线口，所述环形蒸发室中设置有坩埚。

进一步的，所述坩埚中设置有靶材，所述靶材下端设置有基片，且坩埚中填充有惰性气体。

进一步的，所述真空镀铝机箱体一侧设置有尾气净化器，所述尾气净化器中设置有二级净化滤板、后板、除尘滤网、加湿滤网和气体反应盒。

进一步的，所述环形蒸发室、真空泵、高能激光器以及尾气净化器均与外部电源电性连接。

进一步的，所述尾气净化器中设置有尾气排口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种新型真空镀铝机将高能激光器与环形蒸发室合二为一，提高了镀膜的效率与质量。

1. 通过将高能激光器与环形蒸发室合二为一，提高了镀膜的效率与质量；

2. 通过设置尾气净化器能够有效祛除镀铝过程中产生的有害气体，提高

环保性能。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为坩埚内部结构示意图；

图3为真空镀铝机结构示意图；

图4为尾气净化器结构示意图。