[实用新型]一种清洗药液槽的管路系统有效
申请号: | 201821222245.9 | 申请日: | 2018-07-31 |
公开(公告)号: | CN208712373U | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 左国军;余兴梅 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 尹彦;胡朝阳 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 进水管 清洗药液 管路系统 安装固定板 本实用新型 旁路管道 输入管路 出水端 固定板 药液槽 去除 手阀 连通 残留 伤害 | ||
本实用新型公开了一种清洗药液槽的管路系统,其包括:多种药液和纯水的进水管,各进水管的出水端相互连通,每一种药液的进水管上均设有第一手阀和第二手阀,在所述的第一手阀和第二手阀之间的管路上设有通向药液槽的旁路管道,所述纯水的进水管上设有一纯水手阀;所有的第一手阀和第二手阀及纯水手阀均安装在人工便于操作的固定板上。将各种药液和纯水的输入管路相互连接,再将控制药液输入或纯水输入的手阀汇集在同一安装固定板上。人工在清洗药液槽的过程中,酸或碱药液不会对人体造成伤害,简化了繁琐的操作步骤,高效地去除药液的残留。
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片的槽式清洗设备和湿法处理设备,尤其涉及一种用于清洗药液槽的管路系统。
背景技术
在太阳能硅片的槽式清洗设备和槽式湿法处理设备中,同一个槽体在不同的工艺(俗称不同酸或碱药液的切换)使用时,需先达到酸碱的平衡,再对槽体进行冲洗。通常的做法是攀爬设备顶部需手动接管,对槽内进行酸或碱药液的加液,进行槽内的酸碱平衡,最后再注纯水清洗槽内的药业残留。上述加酸或碱药液加注时,存在液体会漏或溅出腐蚀到人体的风险,具有安全隐患,且工序繁琐,操作不便。
因此,如何克服现有槽体工艺切换清洗槽体内腔时,存在安全隐患和操作不便的缺陷是业界亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有槽体工艺切换清洗槽体内腔时,存在安全隐患和操作不便的技术问题,提出一种高效的安全可靠的清洗药液槽的管路系统。
本实用新型提出的一种清洗药液槽的管路系统,其包括:多种药液和纯水的进水管,各进水管的出水端相互连通,每一种药液的进水管上均设有第一手阀和第二手阀,在所述的第一手阀和第二手阀之间的管路上设有通向药液槽的旁路管道,所述纯水的进水管上设有一纯水手阀;所有的第一手阀和第二手阀及纯水手阀均安装在无需攀爬人工便于操作的固定板上。
较优的,所述的每一旁路管道均连通一计量药液桶,该计量药液桶的出液口通向所述的药液槽,该计量药液桶的进入管道和出口管道上均设有气阀。
较优的,所述的气阀和计量药液桶的计量器均与自动控制器连接。
一种清洗药液槽的管路系统,其包括:多种药液和纯水的进水管,各进水管的出水端相互连通,每一种药液的进水管上均设有第一手阀和第二手阀,在所述的第一手阀和第二手阀之间的管路上设有通向药液槽的旁路管道,所述纯水的进水管上设有一纯水手阀;所有的第一手阀和第二手阀及纯水手阀均安装在无需攀爬人工便于操作的固定板上。
附图说明
图1为本实用新型较佳实施例的流程示意图。
具体实施方式
如图1所示,为本实用新型较佳实施例的流程示意图。本实用新型较佳实施例提供的清洗药液槽的管路系统,其包括:多种药液和纯水的进水管1、2、3、…4、5、6,各进水管的出水端相互连通,每一种药液的进水管上均设有第一手阀M1、M3、M5、…M7、M9和第二手阀M2、M4、M6、…M8、M10,在第一手阀和第二手阀之间的管路上均设有通向药液槽15、16、17的旁路管道7、8、9、…10、11。纯水的进水管6上设有纯水手阀M12。所有的第一手阀和第二手阀及纯水水阀均安装在无需攀爬人工便于操作的固定板上。本实施例中,所述的每一旁路管道7、8、9、…10、11均连通一计量药液桶12、13、14,该计量药液桶的出液口通向药液槽15、16、17,该计量药液桶的进入管道和出口管道上均设有气阀18、19。进一步的所述气阀18、19和计量药液桶12、13、14的计量器均与自动控制器连接。
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