[实用新型]一种慢提支架的水平调整装置有效
申请号: | 201821222620.X | 申请日: | 2018-07-31 |
公开(公告)号: | CN208538808U | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | 左国军;卜涛 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 尹彦;胡朝阳 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调整块 支架 本实用新型 芯轴 水平调整装置 竖直边 滚轮 螺栓 调整螺栓 横向距离 连接构件 旋转调整 运动过程 支架横向 清洗槽 预脱水 硅片 体内 穿过 驱动 支撑 | ||
本实用新型公开了一种慢提支架的水平调整装置,其包括:将多个滚轮串起来的芯轴,设于每一滚轮两侧的用于支撑所述芯轴的调整块,穿过该调整块能驱动所述芯轴相对该调整块横向移动的调整螺栓,用于连接所述调整块和慢提支架竖直边的连接构件。在慢提支架的竖直边的下部固定安装本实用新型,旋转调整螺栓就可以调整调整快相对清洗槽体内壁的横向距离,以达到调整慢提支架横向边的水平程度之目的,从而提升硅片在慢提运动过程中的预脱水效果。本实用新型结构简单,使用方便。
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片的槽式清洗设备和黑硅制绒设备,尤其涉及一种用于硅片的承载件的慢提支架的水平调整装置。
背景技术
在太阳能硅片的槽式清洗设备和黑硅制绒设备中,需要将装载硅片的承载件,如,片盒或花篮等,放在L型的慢提支架的横向的水平面上,再将该慢提支架放入槽体内进行水清洗,之后再缓慢提升达到硅片的预脱水效果。通常慢提支架的升降动作是通过电机直连一螺母丝杆机构来驱动完成的。而慢提支架主要是由两根2mm不锈钢圆呈L型焊接并外包PVDF材质圆管而成,且电机及螺母丝杆机构、慢提之架均是焊接在一竖直的PP材质的封板上。由于焊接工艺存在误差和PP材质的封板存在一定变形,所以对慢提支架升降运动时的水平面会造成影响。如果慢提支架的横向平面在升降的过程没有达到规定的水平要求,则会影响硅片的预脱水效果,影响产品的良率。
因此,如何克服现有慢提支架升降过程中不能保持是水平的缺陷是业界亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有慢提支架升降过程中不能保持是水平的问题,提出这一种可便捷调整慢提支架水平状态,以致提升硅片预脱水效果的慢提支架的水平调整装置。
本实用新型提出的一种慢提支架的水平调整装置,其包括:将多个滚轮串起来的芯轴,设于每一滚轮两侧的用于支撑所述芯轴的调整块,穿过该调整块能驱动所述芯轴相对该调整块横向移动的调整螺栓,用于连接所述调整块和慢提支架竖直边的连接构件。
较优的,所述滚轮的孔为横向设置的腰型孔,所述调整螺栓的螺栓前端进入该腰型孔指向所述的芯轴。
较优的,所述的连接构件分别为固定连接于所述调整块上、下两端面的杆件。
较优的,所述的杆件由两条夹板并接,所述夹板的两端分别设有安装孔。
较优的,本实用新型还包括一用于所述的滚轮上下滚动的运动轨道。
为了解决现有硅片清洗的慢提支架升降不能保持水平的问题,在L型慢提支架竖直边的下部固定安装本实用新型,使得一排的滚轮与设于清洗槽体内壁上的运动轨道抵靠。当慢提支架升降时,本实用新型的滚轮相对该运动轨道运动。正反旋转调整螺栓,便可调整调整快相对滚轮芯轴的横向距离,由于调整快是与慢提支架的竖直边固定连接的,而滚轮与运动轨道抵靠。那么实际上,旋转调整螺栓就可以调整调整快相对清洗槽体内壁的横向距离,以达到调整慢提支架横向边的水平程度之目的,从而提升硅片在慢提运动过程中的预脱水效果。本实用新型结构简单,使用方便。
附图说明
图1为本实用新型较佳实施例应用示意图;
图2为本实用新型较佳实施例主视图;
图3为图1中A部的放大图,也是图2的仰视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造