[实用新型]一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的装置及其组件

说明书

本实用新型一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的装置及其组件，属于真空取样技术领域，本实用新型所要解决的问题是提供了一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的装置和组件，采用的技术方案为：所述装置设置有N+1个真空密封阀门和N个焊接波纹管，且真空密封阀门和焊接波纹管间隔设置，所述装置的两端为真空密封阀门，所述焊接波纹管的压缩比大于或等于2，所述装置或是三个真空密封阀门和两个焊接波纹管；所述装置或是两个真空密封阀门和一个焊接波纹管；所述装置或是四个真空密封阀门和三个焊接波纹管；本实用新型可广泛应用于真空取样分析领域中。

技术领域

本实用新型一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的装置及其组件，属于真空取样技术领域。

背景技术

目前，随着航天技术和金属热处理技术的不断发展，真空环境模拟和真空金属热处理得到极大的推广和应用，使得航天材料和元器件可以在地面提前进行有效的外太空空间低气压仿真模拟实验，可以提前发现问题，提早进行改进，防止了航天器进入外太空后的失效发生。

金属真空热处理，为金属提供无氧洁净的热处理环境，极大改善了金属热处理效果，同时真空反应釜、真空气氛炉的应用都极大的丰富了真空设备的应用领域。在各种使用环境中，随着加热及反应釜内物理和化学的变化真空腔体内气体成分可能会发生变化，研究该气体成分的变化对后续工艺参数的设定，设备的改进均有重要的研究意义和价值。

由于目前所有气体分析仪均需是正压供气才能测定，如何通过简单装置实现真空腔体内的正压气体采集就显得尤为重要。

现有对真空状态下的气体进行分析与目前所有气体分析仪均需是正压供气才能测定之间的矛盾，没有合适的方法解决。

实用新型内容

本实用新型克服了现有技术存在的不足，提供了一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的装置和组件。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的装置，所述装置设置有N+1个真空密封阀门和N个焊接波纹管，且真空密封阀门和焊接波纹管间隔设置，所述装置的两端为真空密封阀门，所述焊接波纹管的压缩比大于或等于2。

进一步，所述装置或是三个真空密封阀门和两个焊接波纹管；所述装置或是两个真空密封阀门和一个焊接波纹管；所述装置或是四个真空密封阀门和三个焊接波纹管。

进一步，所述装置的真空密封阀门为真空隔膜阀，所述装置包括：第一真空隔膜阀、第一焊接波纹管、第二真空隔膜阀、第二焊接波纹管、第三真空隔膜阀；

所述第一真空隔膜阀的一端与真空腔室密封相连，第一真空隔膜阀的另一端与第一焊接波纹管的一端连通，所述第一焊接波纹管的另一端通过第二真空隔膜阀与第二焊接波纹管的一端连通，所述第二焊接波纹管的另一端通过第三真空隔膜阀与气体分析仪密封相连，所述第一焊接波纹管和第二焊接波纹管为压缩比5-10的焊接波纹管。

进一步，所述第一焊接波纹管和第二焊接波纹管的内径均为20mm，且压缩至最短后端面之间的距离为100mm，伸长至最长后端面之间的距离为1000mm。

进一步，所述真空腔室内的压力为1.0×10⁴Pa～9.9×10⁴Pa。

一种对真空腔体气体进行取样并满足正压分析的装置组件，由多套所述装置并联而成，所述装置的出口端均与密封腔室相连。

本实用新型与现有技术相比具有的有益效果是：本实用新型是通过设计一种新的气体采集装置，实现对真空腔体气体的正压采集，是直接从真空腔体上进行气体采集，避免从真空泵采集油气和泄漏引起的气体成分误差，实现气体原样采集，系统升压到大于大气压力的目的，便于分析仪器进行气体的分析测定。