[实用新型]蒸镀装置

说明书

本实用新型提供一种蒸镀装置，其具备：真空容器，所述真空容器具有可开关的门；蒸发源，布置在所述真空容器中，用于对蒸镀材料进行加热；以及蒸发源挡板，用于对从所述蒸发源蒸发的蒸镀材料进行遮挡，所述蒸发源挡板配置成在遮挡位置和非遮挡位置之间可动，其特征在于，至少一个蒸发源挡板安装在所述门上，当所述门打开时，所述至少一个蒸发源挡板位于所述真空容器之外。在工作人员打开门进入真空容器中进行作业时，能够尽可能地减少蒸发源挡板对工作人员的妨碍。

技术领域

本实用新型涉及一种蒸镀装置，具体涉及一种在打开真空容器的门以便工作人员进入真空容器进行作业时蒸发源挡板不会妨碍工作人员的蒸镀装置。

背景技术

真空蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基板表面凝聚成膜的方法。当今，各类轻薄终端屏幕的主要选材是OLED(有机发光二极管)，而OLED生产过程最重要的一环就是“真空蒸镀”。

一般而言，真空蒸镀装置具备真空容器。在真空容器的内部的上部设有基板保持单元和掩模台，在真空容器的底面设有蒸发源。蒸发源包括：用于收纳在基板上成膜的蒸镀材料的坩埚、加热器、防附着板、蒸发源挡板等。蒸发源一般以能够旋转的方式在真空容器的底面设置多个，各蒸发源包括多个坩埚。每个蒸发源由旋转驱动机构驱动而旋转，能够使坩埚移动到所要求的位置。多个坩埚以能够公转的方式配置的蒸发源被称为旋转型蒸发源(revolver)。

在现有技术中，蒸发源挡板可动地设置在固定于真空容器底面的立柱上。在利用蒸镀装置对被蒸镀构件进行蒸镀时，将位于蒸发源上方的蒸发源挡板移动到非遮挡位置，露出下方的蒸发源，对蒸发源进行加热，使蒸发源中的蒸镀材料蒸发并附着到被蒸镀构件例如基板上。当位于蒸发源上方的基板的蒸镀结束后，将蒸发源挡板移动回遮挡位置、即蒸发源上方，遮挡蒸镀材料进入蒸镀区域，同时将结束了蒸镀的基板转移到其他位置。

在对蒸镀装置进行维护时，工作人员需要打开真空容器的门进入真空容器中。由于在真空容器的底面存在立柱且在立柱上设置有蒸发源挡板，因此导致工作人员在真空容器中的活动空间狭小，不利于作业的顺利开展，并且存在一定的安全隐患(参照图1)。

实用新型内容

本实用新型正是为了解决上述问题而提出的，其主要目的在于提供一种在打开真空容器的门以便工作人员进入真空容器进行作业时蒸发源挡板不会妨碍工作人员的蒸镀装置。

为了实现上述目的，本实用新型的蒸镀装置具备：真空容器，所述真空容器具有可开关的门；蒸发源，布置在所述真空容器中，用于对蒸镀材料进行加热；以及蒸发源挡板，用于对从所述蒸发源蒸发的蒸镀材料进行遮挡，所述蒸发源挡板配置成在遮挡位置和非遮挡位置之间可动，其特征在于，至少一个蒸发源挡板安装在所述门上，当所述门关闭时，所述至少一个蒸发源挡板位于所述真空容器中，相对于对应的蒸发源在遮挡位置和非遮挡位置之间可动，当所述门打开时，所述至少一个蒸发源挡板位于所述真空容器之外。

优选的是，所述门的内侧安装有固定连接结构，所述至少一个蒸发源挡板可枢转地安装在所述固定连接结构上。

优选的是，所述固定连接结构为悬臂梁。

优选的是，所述固定连接结构的数量和所述至少一个蒸发源挡板的数量相同，每个固定连接结构上安装有一个蒸发源挡板。

优选的是，所述至少一个蒸发源挡板包括第一蒸发源挡板和第二蒸发源挡板，分别用于遮挡距离所述门最近的第一蒸发源和第二蒸发源。

优选的是，所述第一蒸发源挡板和所述第二蒸发源挡板可枢转地安装在同一个固定连接结构的自由端。

优选的是，所述第一蒸发源挡板和所述第二蒸发源挡板分别可枢转地安装在第一固定连接结构的自由端和第二固定连接结构的自由端。

优选的是，所述第一固定连接结构和所述第二固定连接结构之间存在夹角，使得二者的自由端朝向彼此倾斜。