[实用新型]一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置

说明书

本实用新型公开了一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置，包括外围酸排通道、扩散炉的尾气管以及在所述外围酸排通道与所述尾气管连接处加装的外围抽力装置。本实用新型在外围酸排通道与扩散炉的尾气管连接处加装一个恒定外围抽力装置(起稳定负压作用)，在工艺程式中优化各步气体流量，保持管内各步骤气体流量一致性，稳定管内压力，再根据管内压力，调节外围抽负压大小，使得外围抽力等于尾气管抽力，达到平衡时，基本不需要补偿氮或者微量补偿氮，大幅削减耗氮量。

技术领域

本发明涉及半导体器件制备领域，具体涉及一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置。

背景技术

太阳能晶硅电池生产的主要流程包括：制绒、扩散、湿法刻蚀、减反射膜的沉积、丝网印刷和烧结。其中，扩散是PN结制备的主要工序，而PN结又是太阳能电池的核心结构，且PN结的质量好坏对太阳晶硅电池的转换效率有着重要的影响。

目前扩散炉废气排放装置主要包括气体缓冲瓶和排风设备，气体缓冲瓶的一端与扩散炉的尾气管连接，其另一端与排风设备连接，在尾气管上设有压力监测设备，在气体缓冲瓶上设有氮气补偿设备，压力监测设备与氮气补偿设备之间单向连接。废气排放装置的工作过程为：尾气管中产生的废气通过排风设备被抽出，废气首先经过气体缓冲瓶再由排风设备排出。如果生产过程中排风设备中的气体产生波动，就会导致尾气管内的气体发生变化，进而使得尾气管的气体压力发生变化；压力监测装置监测到此变化信息之后，就会通知氮气补偿设备使其对气体缓冲瓶进行“氮气补偿”，以调整排风设备中的气压，进而使得尾气管内的气压稳定为某一恒定值。外围酸排抽力＝补偿氮+尾气管抽力(与管内设置压力紧密相关)；在日常通用工艺菜单下，设置管内压力5Pa,外围抽力25PSI情况下，补偿氮气大致在18-22L/min波动，耗氮量比较大。常压tempress设备每根管一分钟耗补偿氮气量20L，一个普通车间一天耗量130万升，折合费用1200元人民币。

因此，有必要提供一种能够大幅减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种能够大幅减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置。

技术方案：

一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置，包括外围酸排通道、扩散炉的尾气管以及在所述外围酸排通道与所述尾气管连接处加装的外围抽力装置。

在所述尾气管末端安装有用于检测尾气管的气体压力的尾气压力检测装置，在所述外围酸排通道进口处安装有用于检测外围酸排抽力的外围压力检测装置；在所述外围抽力装置上设有处理器，所述处理器分别与所述尾气管末端安装的尾气压力检测装置和所述外围酸排通道进口处安装的外围压力检测装置连接，并接收其检测得到的尾气管的气体压力和外围酸排抽力，并进行计算得到需调节的外围抽负压大小；所述处理器与所述外围抽力装置的电机连接，并根据其计算得到的需调节的外围抽负压大小调节电机工作，进而调节外围抽负压大小，使得外围抽力等于尾气管抽力。

所述处理器设有无线通信模块，所述处理器通过所述无线通信模块与后台的监控计算机连接。

有益效果：本实用新型在外围酸排通道与扩散炉的尾气管连接处加装一个恒定外围抽力装置(起稳定负压作用)，在工艺程式中优化各步气体流量，保持管内各步骤气体流量一致性，稳定管内压力，再根据管内压力，调节外围抽负压大小，使得外围抽力等于尾气管抽力，达到平衡时，基本不需要补偿氮或者微量补偿氮，大幅削减耗氮量。

附图说明

图1为本实用新型的扩散炉尾气管装置的结构示意图。

其中，1为尾气管，11为尾气压力检测装置，2为外围抽力装置，21为处理器，3为外围酸排通道，31为外围压力检测装置。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。