[实用新型]一种溅镀机的防着板拆换结构

说明书

本实用新型涉及一种溅镀机的防着板拆换结构，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板组件，输送台两侧的下部均设置有避让结构；防着板组件包含固定板和拆换板，固定板通过支架固定，固定板的下端与拆换板的上端连接，形成一个整体，并使固定板和拆换板的前侧表面平滑连接；拆换板的下端设置有延伸部，延伸部与输送台的避让结构配合；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要更换并清理位于下部的拆换板部分即可，不需要对防着板组件整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，并且提高了拆换和清理的效率。

技术领域

本实用新型涉及一种溅镀机的防着板拆换结构。

背景技术

真空溅镀是在真空环境下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积，使其具有某种特殊功能薄膜的技术；因溅镀过程中，溅镀源会随机方向溅射，除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在周围其他部位的表面，为保护其他结构件避免附着、沉积膜层，需要使用防着板进行覆盖防护；现有的防着板大多为一体式结构，长时间使用后需要整体更换，并对换下的板材进行清理，增加了成本，并且降低了效率。

实用新型内容

针对上述存在的技术问题，本实用新型的目的是：提出了一种溅镀机的防着板拆换结构。

本实用新型的技术解决方案是这样实现的：一种溅镀机的防着板拆换结构，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板组件，输送台两侧的下部均设置有避让结构；所述防着板组件包含固定板和拆换板，固定板通过支架固定，固定板的下端与拆换板的上端连接，形成一个整体，并使固定板和拆换板的前侧表面平滑连接；所述拆换板的下端设置有延伸部，延伸部与输送台的避让结构配合。

优选的，所述固定板和拆换板通过相互交错的搭接结构拼接，并通过螺栓固定。

优选的，所述固定板和拆换板的工作表面为斜面或圆弧面，延伸部的工作表面为水平面。

优选的，所述固定板的前侧表面为光面，拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构。

优选的，所述颗粒凸起结构的截面形状呈梯形。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的溅镀机的防着板拆换结构，其防着板组件由固定板和拆换板两部分组成，由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要更换并清理位于下部的拆换板部分即可，不需要对防着板组件整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，并且提高了拆换和清理的效率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

附图1为本实用新型的一种溅镀机的防着板拆换结构的示意图；

附图2为本实用新型的颗粒凸起结构的示意图。

具体实施方式

下面结合附图来说明本实用新型。

如附图1-2所示，本实用新型所述的一种溅镀机的防着板拆换结构，包含机架，机架内设有溅镀源1、输送台2和工作台3，工作台3设置在输送台2上，溅镀源1设置在工作台3的上方，输送台2的两侧均设置有防着板组件，输送台2两侧的下部均设置有避让结构4。

所述防着板组件包含固定板11和拆换板12，固定板11通过支架固定，固定板11的下端与拆换板12的上端通过相互交错的搭接结构拼接，并通过螺栓固定，形成一个整体，固定板11和拆换板12的前侧工作表面平滑连接；所述拆换板12的下端设置有水平的延伸部13，延伸部13与输送台2的避让结构4配合。