[实用新型]基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器

权利要求书

1.一种基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器，其特征在于，包括：

底座；基底，其位于所述底座的顶面，其内部形成有应力腔；

绝缘层，其位于所述基底的顶面，且位于所述应力腔的正上方；

压力敏感层，其位于所述绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料，或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；

电极，其包括四个，分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上；

防护层，其沉积在所述绝缘层的顶面，并将所述压力敏感层和电极封装在其内。

2.根据权利要求1所述的海水压力传感器，其特征在于，所述底座中开设有走线通道，连接四个电极的引线通过所述走线通道引出底座。

3.根据权利要求2所述的海水压力传感器，其特征在于，所述底座为圆柱形，其顶部设有环状的凸起，通过所述的凸起与基底装配固定。

4.根据权利要求1所述的海水压力传感器，其特征在于，所述基底为圆柱体，基底中形成的应力腔为真空腔体。

5.根据权利要求1所述的海水压力传感器，其特征在于，所述绝缘层为由本征金刚石或蓝宝石材料制成的圆形薄膜层，厚度为0.02～0.5mm；形成所述压力敏感层的四块薄膜在所述绝缘层的顶面呈圆周等间距排布。

6.根据权利要求1所述的海水压力传感器，其特征在于，所述防护层为由类金刚石、或碳化硅、或类金刚石与碳化硅的复合材料构成的薄膜层，厚度为3～50μm。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的海水压力传感器，其特征在于，所述四块薄膜的厚度在5～20μm之间，面积在100～2500μm²之间；四块薄膜形成四个压阻因子相同的薄膜电阻，所述薄膜电阻的压阻因子在120～3000之间。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的海水压力传感器，其特征在于，所述电极为由钛和金制成或者由钛和铬制成的复合电极，并且所述钛与金的厚度比或者钛与铬的厚度比在1:2～1:10之间。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的海水压力传感器，其特征在于，底座的底面设有水密插头。

10.根据权利要求9所述的海水压力传感器，其特征在于，所述水密插头为两级台阶式结构，每一级台阶的周边形成倾角，上级台阶与所述底座的走线通道密封装配，下级台阶上安装有四个金属接触件，所述四个金属接触件与所述四个电极的引线一一对应连接。