[实用新型]一种防着板自动拆换机构

说明书

本实用新型涉及一种防着板自动拆换机构，包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构；升降机构带动升降板升降，横移机构设置有移动座；拆换板具有安装部和拼接部，安装部安装固定在移动座上，拼接部用于与升降板拼接；所述升降板与拆换板拼接后，升降板和拆换板的前侧工作表面平滑连接，并使安装部与避让结构配合；所述升降板的前侧表面为光面，拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要通过升降机构和横移机构动作，使升降板和拆换板分离，并将拆换板移出更换即可，不需要对防着板整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，节省了人力。

技术领域

本实用新型涉及一种防着板自动拆换机构。

背景技术

真空溅镀是在真空环境下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积，使其具有某种特殊功能薄膜的技术；因溅镀过程中，溅镀源会随机方向溅射，除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在周围其他部位的表面，为保护其他结构件避免附着、沉积膜层，需要使用防着板进行覆盖防护；现有的防着板大多为一体式结构，长时间使用后需要整体更换，并对换下的板材进行清理，增加了成本，并且降低了效率。

实用新型内容

针对上述存在的技术问题，本实用新型的目的是：提出了一种防着板自动拆换机构。

本实用新型的技术解决方案是这样实现的：一种防着板自动拆换机构，包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构；所述升降机构带动升降板升降，横移机构设置有移动座，横移机构带动移动座沿横向移动；所述拆换板具有安装部和拼接部，安装部安装固定在移动座上，拼接部用于与升降板拼接；所述升降板与拆换板拼接后，升降板和拆换板的前侧工作表面平滑连接，并使安装部与避让结构配合；所述升降板的前侧表面为光面，拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构。

优选的，所述升降板和拼接部的工作表面为斜面或圆弧面，安装部的工作表面为水平面。

优选的，所述颗粒凸起结构的截面形状呈梯形。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的防着板自动拆换机构，由升降板、升降机构、拆换板和横移机构组成，由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要通过升降机构和横移机构动作，使升降板和拆换板分离，并将拆换板移出更换即可，不需要对防着板整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，节省了人力。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

附图1为本实用新型的一种防着板自动拆换机构的示意图；

附图2为本实用新型的颗粒凸起结构的示意图。

具体实施方式

下面结合附图来说明本实用新型。

如附图1-2所示，本实用新型所述的一种防着板自动拆换机构，用在真空溅镀设备中，其包含升降板11、升降机构12、拆换板和横移机构13；所述升降机构12带动升降板11升降，横移机构13设置有移动座14，横移机构13带动移动座14沿横向移动；所述拆换板具有安装部15和拼接部16，安装部15安装固定在移动座14上，拼接部16用于与升降板11拼接。

工作时，先将横移机构13带动移动座14移动至机体外侧，将拆换板通过安装部15安装固定在移动座14上，控制升降机构12使升降板11上升一定高度，给拆换板让出行进的空间，随后横移机构13带动移动座14前移至行程终点，随后升降板11下降回原位，横移机构13再带动移动座14后退一点距离，使拼接部16与升降板11配合拼接成一个整体；反向进行上述过程，即可实现拆换板的自动移出。