[实用新型]一种防着板自动拆换溅镀机有效
| 申请号： | 201821230203.X | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN208733211U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 孙建忠 | 申请（专利权）人： | 苏州康普雷森精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 于浩江 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 拆换 防着板 升降板 横移机构 升降机构 拼接 溅镀机 输送台 移动座 本实用新型 安装固定 避让结构 工作台 溅镀源 飞溅 靶材 板移 沉积 升降 | ||
1.一种防着板自动拆换溅镀机，其特征在于：包含机架，机架内设有溅镀源（1）、输送台（2）和工作台（3），工作台（3）设置在输送台（2）上，溅镀源（1）设置在工作台（3）的上方，输送台（2）的两侧均设置有防着板自动拆换组件，输送台（2）两侧的下部均设置有避让结构（4）；所述防着板自动拆换组件包含升降板（11）、升降机构（12）、拆换板和横移机构（13）；所述升降机构（12）带动升降板（11）升降，横移机构（13）设置有移动座（14），横移机构（13）带动移动座（14）沿横向移动；所述拆换板具有安装部（15）和拼接部（16），安装部（15）安装固定在移动座（14）上，拼接部（16）用于与升降板（11）拼接；所述升降板（11）与拆换板拼接后，升降板（11）和拆换板的前侧工作表面平滑连接，并使安装部（15）与避让结构（4）配合。
2.根据权利要求1所述的防着板自动拆换溅镀机，其特征在于：所述升降板（11）和拼接部（16）的工作表面为斜面或圆弧面，安装部（15）的工作表面为水平面。
3.根据权利要求1所述的防着板自动拆换溅镀机，其特征在于：所述升降板（11）的前侧表面为光面，拆换板的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构（21）。
4.根据权利要求3所述的防着板自动拆换溅镀机，其特征在于：所述颗粒凸起结构（21）的截面形状呈梯形。
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