[实用新型]一种防着板自动换位组件有效
| 申请号： | 201821231190.8 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN208733213U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 孙建忠 | 申请（专利权）人： | 苏州康普雷森精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 于浩江 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防着板 弯折部 旋转驱动机构 支撑架 升降驱动部件 移动驱动机构 自动换位 靶材 本实用新型 工作表面 颗粒凸起 上下两侧 托板升降 可控制 拆换 飞溅 横移 托板 沉积 换位 转动 对称 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种防着板自动换位组件，其特征在于：包含防着板（11）、支撑架（12）、旋转驱动机构（15）、移动驱动机构（16）、托板（13）和升降驱动部件（17）；所述防着板（11）沿竖向设置，防着板（11）的上下两侧均设置有弯折部（14），两侧的弯折部（14）相互对称，防着板（11）连同弯折部（14）的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构（21）；所述防着板（11）转动设置在支撑架（12）上，支撑架（12）滑动设置在移动驱动机构（16）上，旋转驱动机构（15）带动防着板（11）转动，移动驱动机构（16）带动支撑架（12）横移；所述托板（13）设置在防着板（11）的下侧，升降驱动部件（17）带动托板（13）升降，使其与下侧的弯折部（14）配合。
2.根据权利要求1所述的防着板自动换位组件，其特征在于：所述弯折部（14）上设置有锁定孔，托板（13）上设置有与锁定孔配合的定位销。
3.根据权利要求1所述的防着板自动换位组件，其特征在于：所述颗粒凸起结构（21）的截面形状呈梯形。
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