[实用新型]薄膜太阳能电池膜层沉积设备有效
| 申请号： | 201821233354.0 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN209052754U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 张冲;王雪戈 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京智晨知识产权代理有限公司 11584 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜太阳能电池 本实用新型 膜层沉积 收容空间 腔体 太阳能电池技术 薄膜太阳能 碱金属材料 沉积设备 加热装置 时间成本 样品架 沉积 加热 收容 生产 | ||
1.一种薄膜太阳能电池膜层沉积设备，其特征在于，包括具有收容空间的腔体、设置于所述收容空间内且具有碱金属材料收容部的样品架、以及加热所述腔体的加热装置；
还包括：分别与所述腔体相连的第一气体气源和硫化氢气源，所述第一气体气源为惰性气体气源或氮气气源；
所述腔体上设置有与所述收容空间连通的进气口和出气口，所述进气口经由气路与所述第一气体气源和硫化氢气源连通，所述气路包括与所述硫化氢气源相连的第一气路、与所述第一气体气源相连的第二气路、将第一气路和第二气路连接至所述进气口的第三气路。
2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池膜层沉积设备，其特征在于，所述第一气路上设置有第一气阀，所述第二气路上设置有第二气阀。
3.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池膜层沉积设备，其特征在于，所述第一气路上还设置有第一流量调节阀，所述第二气路上还设置有第二流量调节阀。
4.根据权利要求3所述的薄膜太阳能电池膜层沉积设备，其特征在于，第三气路上设置有第三流量调节阀。
5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池膜层沉积设备，其特征在于，第三气路上设置有第三气阀。
6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池膜层沉积设备，其特征在于，还包括与所述出气口相连的抽真空装置。
7.根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池膜层沉积设备，其特征在于，所述出气口经由第四气路与所述抽真空装置相连，所述第四气路上设置有第四气阀。
8.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池膜层沉积设备，其特征在于，还包括与所述收容空间连通的气压感测装置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，未经北京铂阳顶荣光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821233354.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种离子氮化炉组合阴极
- 下一篇：隔热板以及蒸镀设备
- 同类专利
- 专利分类
