[实用新型]移动式微波单元有效
申请号: | 201821237855.6 | 申请日: | 2018-08-01 |
公开(公告)号: | CN208608166U | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 施中玲;陈伏宏;刘家桦;叶日铨 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 杨楷;毛立群 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 放电管 微波施加器 微波发生器 刻蚀机台 微波单元 移动式 线性运动装置 本实用新型 可滑动地 半导体设备制造 金属及氧化物 颗粒污染 生产效率 使用寿命 微波管道 移动微波 有效减少 施加器 滑动 晶圆 拆开 驱动 维护 | ||
1.一种移动式微波单元,设置在晶圆刻蚀机台内的放电管上,其特征在于,包括:微波发生器、微波施加器以及线性运动装置;
所述微波施加器可滑动地套设在所述放电管上;
所述线性运动装置设置在微波发生器上,能够驱动所述微波发生器和所述微波施加器一同滑动;
所述微波发生器通过微波管道与所述微波施加器连接。
2.根据权利要求1所述的移动式微波单元,其特征在于,所述线性运动装置包括:滑动件、驱动装置和线性轨道;
所述驱动装置安装在所述滑动件上;
所述滑动件与所述微波发生器固定安装,并且可滑动地卡合在所述线性轨道内。
3.根据权利要求2所述的移动式微波单元,其特征在于,所述线性轨道的长度和所述放电管的长度相同,并且所述线性轨道沿着所述放电管的轴向设置。
4.根据权利要求3所述的移动式微波单元,其特征在于,在所述线性轨道上还设置有用于固定所述滑动件的止动件。
5.根据权利要求4所述的移动式微波单元,其特征在于,所述微波施加器包括工作腔和套管,所述止动件设置有多个且等间距地分布在所述线性轨道上,从而形成不同档位,并且相邻两个所述止动件的距离等于所述工作腔沿着所述放电管轴向的长度。
6.根据权利要求2或3所述的移动式微波单元,其特征在于,所述滑动件上还设置有滑轮,所述滑动件通过所述滑轮安装在所述线性轨道上。
7.根据权利要求5所述的移动式微波单元,其特征在于,所述线性运动装置还包括控制模块和报警器,所述控制模块与所述报警器通信连接。
8.根据权利要求7所述的移动式微波单元,其特征在于,还包括光电传感器,所述光电传感器设置在所述线性轨道上,能够测量所述滑动件滑动的距离,并将距离信息送至所述控制模块;
当距离异常时,所述控制模块控制所述报警器发出提醒。
9.根据权利要求7所述的移动式微波单元,其特征在于,还包括计时器,所述计时器与所述控制模块通信连接,用于记录所述移动式微波单元在不同的所述档位的工作时间并将信息发送至所述控制模块;
当工作时间大于等于有效工作时间时,所述控制模块控制所述报警器发出提醒。
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