[实用新型]一种新型曝光治具有效
| 申请号： | 201821240526.7 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN208459770U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 周群飞;饶桥兵;张旭东 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 周晓艳;郑隽 |
| 地址： | 410311 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 棱镜 曝光 治具 曝光部位 限位装置 油墨 治具主体 垂直边 曝光机 图案层 光阻 照射 光线反射原理 本实用新型 一体式结构 主体上表面 侧面 技术空白 夹角为 透光板 显影 匹配 挂靠 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型曝光治具，其特征在于，包括治具主体和透光板，所述治具主体包括棱镜主体和限位装置，所述限位装置位于棱镜主体上表面，所述棱镜主体为上宽下窄的立方体结构，与产品待曝光部位相对应设置的所述棱镜主体的侧面的上部设有图案层，所述图案层的尺寸大小与产品待曝光部位的尺寸大小相匹配，与产品待曝光部位相对应设置的所述棱镜主体的侧面与水平面之间的夹角为45°～60°，所述棱镜主体和限位装置为一体式结构；棱镜主体上设有与透光板相匹配的定位孔。
2.根据权利要求1所述的一种新型曝光治具，其特征在于，所述棱镜主体为有机玻璃。
3.根据权利要求1所述的一种新型曝光治具，其特征在于，所述限位装置的表面平面度小于0.015mm，表面粗糙度小于1.0μm。
4.根据权利要求1所述的一种新型曝光治具，其特征在于，所述透光板的材质为透明石英玻璃。
5.根据权利要求1所述的一种新型曝光治具，其特征在于，所述图案层的厚度为50-500nm。
6.根据权利要求1所述的一种新型曝光治具，其特征在于，所述图案层为光阻层或者油墨层或者镀膜层。
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