[实用新型]一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵

权利要求书

1.一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，包括水环真空泵本体(1)，其特征在于，所述水环真空泵本体(1)的底部固定安装有固定座(2)，且水环真空泵本体(1)的一侧设置有制冷水箱(6)，所述固定座(2)的内部安装有减震器(3)，且固定座(2)的上表面设置有压缩泵(4)，所述压缩泵(4)的一侧安装有驱动电机(5)，所述压缩泵(4)的顶部设置有吸气口(7)，且压缩泵(4)的顶部位于吸气口(7)的一侧位置处设置有排气口(9)，所述吸气口(7)的顶部安装有过滤器(8)，所述制冷水箱(6)与压缩泵(4)的连接处安装有进水管(10)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，其特征在于，所述过滤器(8)的内部安装有过滤网(11)，所述过滤网(11)是一种活性炭材质的构件，且过滤网(11)呈蜂窝状结构。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，其特征在于，所述制冷水箱(6)包括注液口(12)、树脂粒子(13)、半导体导冷片(14)、半导体制冷片(15)和散热器(16)，所述制冷水箱(6)的顶部设置有注液口(12)，且制冷水箱(6)的内部设置有树脂粒子(13)，所述制冷水箱(6)的底部安装有半导体导冷片(14)，所述半导体导冷片(14)的底端安装有半导体制冷片(15)，所述半导体制冷片(15)的底部设置有散热器(16)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，其特征在于，所述减震器(3)包括螺栓(17)、阻尼片(18)、防滑橡胶垫(19)、弹簧(20)和橡胶摩擦垫(21)，所述减震器(3)的顶部嵌入安装有螺栓(17)，且减震器(3)的底部设置有橡胶摩擦垫(21)，所述螺栓(17)的下方设置有阻尼片(18)，所述阻尼片(18)的下表面安装有防滑橡胶垫(19)，所述橡胶摩擦垫(21)的上端安装有弹簧(20)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，其特征在于，所述制冷水箱(6)与压缩泵(4)通过进水管(10)贯通连接。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，其特征在于，所述减震器(3)共设置有四个，且四个减震器(3)呈矩形安装在固定座(2)的内部。

7.根据权利要求3所述的一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，其特征在于，所述散热器(16)与半导体导冷片(14)固定连接，所述半导体制冷片(15)安装在半导体导冷片(14)与散热器(16)的中间。