[实用新型]一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉有效
申请号: | 201821245713.4 | 申请日: | 2018-08-02 |
公开(公告)号: | CN208632693U | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 贠书印;罗园;陶建涛;高贻刚;李婷 | 申请(专利权)人: | 内蒙古赛宝伦科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 010000 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区沙*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 炉体 防护装置 冷凝水 注入口 冷凝水排出口 本实用新型 单晶硅棒 硅单晶炉 上表面 直拉式 潮湿环境 快速降温 使用寿命 外部安装 下方位置 锈蚀 单晶炉 干燥剂 位置处 中底座 烫伤 位块 防护 消耗 生产 外部 | ||
1.一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉,包括炉体(1),其特征在于,所述炉体(1)的上表面设置有冷凝水注入口(2),且炉体(1)的上表面靠近冷凝水注入口(2)一侧位置处设置有冷凝水排出口(3),所述炉体(1)的外部安装有防护装置(4),且炉体(1)的外部靠近防护装置(4)下方位置处设置有限位块(5),所述炉体(1)的下方安装有底座(6),所述炉体(1)的内部设置有内胆(7),且炉体(1)与内胆(7)之间设置有保温层(8),所述底座(6)的内壁上开设有限位槽(9),且底座(6)的内部放置有干燥剂(10)。
2.根据权利要求1所述的一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉,其特征在于,所述防护装置(4)包括第一卡箍(41)、第二卡箍(42)、弹簧(43)、防护板(44)和固定螺栓(45),所述防护装置(4)内部安装有第一卡箍(41),所述第一卡箍(41)的一侧安装有第二卡箍(42),且第一卡箍(41)的一侧连接有弹簧(43),所述弹簧(43)的一侧安装有防护板(44),所述第二卡箍(42)的端面位置处嵌入设置有固定螺栓(45)。
3.根据权利要求2所述的一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉,其特征在于,所述第一卡箍(41)与第二卡箍(42)通过固定螺栓(45)连接,且第一卡箍(41)和第二卡箍(42)的内壁上均贴合安装有橡胶垫。
4.根据权利要求2所述的一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉,其特征在于,所述防护板(44)的形状呈半圆形结构,且防护板(44)的数量共设置有两个。
5.根据权利要求1所述的一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉,其特征在于,所述底座(6)的限位槽(9)与炉体(1)上的限位块(5)通过卡合方式连接固定,且底座(6)的下表面设置有防滑纹路。
6.根据权利要求1所述的一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉,其特征在于,所述干燥剂(10)的成分为生石灰粉和粘土干燥剂等,且干燥剂(10)的平铺厚度为10-15mm。
7.根据权利要求1所述的一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉,其特征在于,所述冷凝水注入口(2)和冷凝水排出口(3)的外部均嵌入设置有控制阀门。
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