[实用新型]一种粉尘净化辅助装置及粉尘净化系统

说明书

本实用新型申请涉及一种粉尘净化辅助装置及粉尘净化系统。该辅助装置包括适于与粉尘净化器连通的容纳腔，用于容纳吸附剂；与容纳腔连通的供气装置，用于对容纳腔提供气流；其中，吸附剂能够在气流的驱动下与待净化的含尘气体进行混合。该粉尘净化系统，包括粉尘净化器和粉尘净化辅助装置，粉尘净化辅助装置与粉尘净化器连通；含尘气体与含吸附剂的气流混合后由粉尘净化器进行净化。该辅助装置和粉尘净化系统改善了净化器过滤部件的吸附效果，有助于反吹清灰操作，使更容易收集细微粉尘，提高滤芯使用寿命，节约成本，还降低或避免了粉尘对环境及空气的影响。

技术领域

本实用新型申请属于除尘装置技术领域，涉及一种粉尘净化辅助装置及包括该粉尘净化辅助装置的粉尘净化系统。更具体地，涉及一种应用于半导体和太阳能电池制造行业中由于激光或机械刻划过程所产生的大量细微粉尘的净化辅助装置。

背景技术

近年来，薄膜太阳能技术兴起。由于薄膜太阳能电池具有重量轻、成本低、易安装等优点，一经提出便有了迅猛的发展。具体地，由于铜铟镓硒薄膜太阳电池具有较高的光电转换效率、较好的稳定性及抗辐射等诸多优势，已成为了最有发展前途的薄膜光伏器件。

然而，在铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制造中，为了让太阳能电池在户外工作环境下具有有效的产电效率，又能避免因外来异物对电池板受光面的遮挡导致无法产生光电效应，在薄膜太阳能电池的制造中，需要对电池板进行细分电池节，以保证电池板的产电效率。通常采用激光和机械刻划这两种方式来实现细分电池节过程。但是，激光和机械刻划过程会产生了大量细微的粉尘颗粒，因此除尘处理在薄膜太阳能电池制造中至关重要。

同样，在半导体行业中，对LED面板进行激光刻蚀过程也会产生大量的细微粉尘。粉尘净化装置的高效除尘对LED面板的制造也具有重要意义。

现有技术中常见粉尘净化器通常由风机、过滤装置和集尘装置三部分组成，粉尘净化器主要通过风机或辅助吹扫机构将基片表面的粉尘再次吹扫，以助于吸尘罩或过滤系统吸附，其具体结构和控制系统较为复杂。虽然，其中的滤芯或过滤装置能有效的过滤大部分细微粉尘，但还存在粒径较小的细微粉尘堵塞滤孔或粘附在滤芯上不易掉落，导致滤芯需要频繁更换的成本问题；此外，细微粉尘极易漂浮在空气中对车间环境和空气产生污染。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，第一方面，本实用新型提供了一种结构简单、操作容易、且有助于收集粉尘的粉尘净化辅助装置，所述辅助装置包括适于与粉尘净化器连通的容纳腔，用于容纳吸附剂；与所述容纳腔连通的供气装置，用于向所述容纳腔提供气流；其中，吸附剂能够在所述气流的驱动下与待净化的含尘气体进行混合。

具体地，所述含尘气体由含尘气体输送管输送；所述容纳腔与所述含尘气体输送管连通，且所述容纳腔与所述含尘气体输送管之间设有气体混合单元，所述含尘气体与含吸附剂的气流在所述气体混合单元混合。

所述供气装置与所述容纳腔之间通过气管连通；所述气管上设有控制气体流量的阀门组件。

所述气管的一端位于所述容纳腔内并延伸至吸附剂中。

所述吸附剂为粉末状或颗粒状吸附剂，优选粉末状或纳米颗粒状吸附剂，进一步地，所述吸附剂可以选自无定形二氧化硅、复合型SiO2 纳米吸附剂和活性氧化铝中的任意一种。优选地，所述吸附剂为粉末状无定形二氧化硅粉末。

第二方面，本实用新型提供一种粉尘净化辅助方法，所述方法包括：启动供气装置；供气装置的气流吹动吸附剂，以将吸附剂输送至待净化的含尘气体处，粉尘与吸附剂结合形成大粒径粉尘颗粒。

第三方面，本实用新型提供一种粉尘净化系统，其包括粉尘净化器和所述粉尘净化辅助装置，其中，所述粉尘净化辅助装置与粉尘净化器连通；含尘气体与含吸附剂的气流混合后由粉尘净化器进行净化。