[实用新型]检测系统及探针装置

说明书

本实用新型公开了检测系统及探针装置。一种探针装置及包含有该探针装置的检测系统。探针装置包含有多个第一探针及至少一个第二探针，第一探针及第二探针对应通过第一电连接线及第二电连接线电性连接检测系统的检测设备。当多个第一探针接触面板的晶体管的接脚，以进行漏电流检测时，第二探针不与面板相接触。检测设备将可依据第一探针的量测结果及第二探针的量测结果，以对应产生一结果信息。相关人员或是计算机设备，将可依据结果信息，而更精确地得知第一探针的量测结果。

技术领域

本实用新型涉及一种检测系统及探针装置，特别是一种适用于晶体管的漏电流检测的检测系统及探针装置。

背景技术

随着显示面板的晶体管的尺寸越来越小，晶体管的漏电流的数值也越来越小，而以现有的相关检测设备，对尺寸相对较小的晶体管进行漏电流检测时，漏电流的信号往往会混杂于环境噪声中，而不易被分辨；换言之，相关计算机设备或是人员，并无法从探针所量测出包含有环境噪声的检测信号中，分离出正确的漏电流信号。然，显示面板的晶体管的数量庞大，纵使单一个晶体管仅产生微量的漏电流，但所有晶体管产生的漏电流加总时，将会对显示面板造成明显的影响。是以，对于相关检测厂商而言，如何有效地检测出尺寸相对较小的晶体管的漏电流信号，成为了急需解决的问题之一。

前述环境噪声之来源有设备之动力源(马达)或环境负压所需之真空马达等等诸多自动化设备之必要组件，其因驱动控制而产生电力变化，因而对检测线材诱发出会干扰检测结果之环境噪声；再者，待测物上不同位置之环境噪声系不同，假若单纯以某一个量化值来代表待测物上不同位置之环境噪声，则其量测结果不够客观及正确。

也就是说，现有的显示面板的晶体管漏电流检测设备，无法正确地量测出晶体管的漏电流，而相关人员在无法量测晶体管的漏电流的情况下，将无法对显示面板的相关构件进行改良设计，以控制各晶体管所产生的漏电流的情况。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种检测系统及探针装置，通过第二探针的设置，检测设备将可由第二探针所量测的环境信号，而更有效地解析第一探针量测待测件的检测结果。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种检测系统，其用以对一待测件进行一检测作业，该检测系统包含：一检测设备，其包含有至少一处理装置；一探针装置，其电性连接该检测设备，该探针装置包含：一本体；多个第一探针，其设置于该本体，多个该第一探针的部分外露于该本体，多个该第一探针通过多个第一电连接线电性连接至该检测设备；至少一个第二探针，其设置于该本体，该第二探针通过一第二电连接线电性连接至该检测设备；其中，多个该第一探针接触该待测件的多个待测位置，以与该待测件电性连接，而进行该检测作业时，该第二探针不与该待测件电性连接，该处理装置能依据多个该第一探针所量测的结果及该第二探针所量测的结果，产生一结果信息。

优选地，各个该第一电连接线与该第二电连接线选用相同材质，且各个该第一电连接线与该第二电连接线具有相同的布线路径；该第二探针的部分外露于该本体。

优选地，该处理装置能依据该第二探针所量测的结果，对应消除该第一探针所量测的结果中存在的部分噪声，以产生该结果信息。

优选地，该待测件为一面板，该面板包含有多个晶体管，多个该第一探针用以检测该面板的各个该晶体管。

优选地，该第二探针外露于该本体的长度，不大于各个该第一探针外露于该本体的长度；或者该第一探针外露于该本体的长度与该第二探针外露于该本体的长度相同，而外露于该本体的第一探针相对于该本体的角度，与外露于该本体的第二探针相对于该本体的角度不同。