[实用新型]一种用于真空腔室的冷却结构

说明书

本实用新型涉及一种用于真空腔室的冷却结构，包括：多个流道壁，其设置于所述真空腔室外表面；以及至少一个弯头，其设置于所述真空腔室外表面，并配置为连接所述多个流道壁；其中，所述多个流道壁、至少一个所述弯头分别与所述真空腔室的外表面形成冷却水的管道。本实用新型公开的ROC镀膜真空腔室冷却结构通过多个弯头将流道壁连接起来，代替传统管道之间的直角连接，可以避免冷却水因直角造成的压力损失，以及通过将流道壁焊接于真空腔室上，冷却水可直接与真空腔室接触，有效的提高冷却效果。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备领域，特别地涉及一种用于真空腔室的冷却结构。

背景技术

在真空腔室镀膜完成后需要对其进行冷却，而现有的国内外传统的真空腔室的冷却装置都使用外部冷却水进行冷却，通过在真空腔室上设置多个冷却水的流动管道，并将多个流动管道之间相互连接，通过在其上打孔焊接接头，外接外部装置，完成冷却结构的制作。

但是目前该传统的冷却结构缺陷较多，冷却效果较差，自身的力学性能不强，容易产生变形。究其原因，该结构的流动管道为细长结构，本身加工难度较大，制作成本高，制作精度低，使得设备的良品率低，将其设置到真空腔室上，管道本身呈直线型，管道之间的连接处为直角，冷却水在流过直角弯时会产生一定的压力损失，而连续的多个直角弯会造成很大的压力损失，降低冷却的效果，并且冷却水并不直接与真空腔室接触，冷却效果较差。同时还需要焊死管道端头、打孔、焊接接头，该管道直接设置于真空腔室外表面上与真空腔室分离，如果产生碰撞，该结构容易产生变形，破坏管道或者破坏焊点产生泄露。

实用新型内容

针对现有技术中存在的技术问题，本实用新型提出了一种用于真空腔室的冷却结构，包括：多个流道壁，其设置于所述真空腔室外表面；以及至少一个弯头，其设置于所述真空腔室外表面，并配置为连接所述多个流道壁；其中，所述多个流道壁、至少一个所述弯头分别与所述真空腔室的外表面形成冷却水的管道。

如上所述的冷却结构，所述流道壁和/或所述弯头的截面为弧形。

如上所述的冷却结构，所述流道壁和/或所述弯头的截面为半圆弧形。

如上所述的冷却结构，所述流道壁为钢管切割而成。

如上所述的冷却结构，所述弯头为弯管切割而成。

如上所述的冷却结构，所述流道壁和/或所述弯头的壁厚为1mm-2mm。

如上所述的冷却结构，所述冷却结构还包括与所述流道壁连接的接头，其设置于所述管道的一端。

如上所述的冷却结构，所述接头为变径接头。

如上所述的冷却结构，所述流道壁和/或所述弯头与所述真空腔室外表面焊接，以形成密封的所述管道。

如上所述的冷却结构，所述流道壁和所述弯头之间焊接，以形成密封的所述管道。

本实用新型公开的ROC镀膜真空腔室冷却结构通过多个弯头将流道壁连接起来，代替传统管道之间的直角连接，可以避免冷却水因直角造成的压力损失，以及通过将流道壁焊接于真空腔室上，冷却水可直接与真空腔室接触，有效的提高冷却效果。

附图说明

下面，将结合附图对本实用新型的优选实施方式进行进一步详细的说明，其中：

图1为根据本实用新型一个实施例的ROC镀膜真空腔室冷却结构的示意图；

图2为图1所示的冷却结构按照A-A线切割后得到的局部截面图；以及

图3为以图1为例示意的冷却结构的管道的受力截面图。

具体实施方式