[实用新型]一种加药校准装置及化学水浴沉积镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种加药校准装置及化学水浴沉积镀膜装置，该加药校准装置包括储液装置、计量容器、电控流量计、质量检测装置、控制器及导液泵，计量容器与储液装置连接；电控流量计连接在储液装置和计量容器之间，用于计量储液装置向计量容器输送药液的流量；质量检测装置用于计量计量容器的质量；控制器分别与电控流量计和质量检测装置连接，用于根据质量检测装置和电控流量计的计量结果校准电控流量计；导液泵与计量容器连接，用于排出计量容器内的药液；该化学水浴沉积镀膜装置包括镀膜设备和如上的加药校准装置，镀膜设备通过电控流量计与储液装置连接。该加药校准装置及化学水浴沉积镀膜装置，结构简单，安全风险较低，自动化程度较高。

技术领域

本实用新型涉及水浴沉积镀膜技术领域，尤其涉及一种加药校准装置及化学水浴沉积镀膜装置。

背景技术

化学水浴沉积镀膜装置中的流量计每隔一段时间需要进行校准，以保证流量计的精准性。现有技术中流量计的校准方法一般为：在流量校准时，将计量桶手动取下在天平上去皮称重放回，然后电脑输入指定的量(体积L)，通过电控流量计控制，将药液加入计量桶内，然后手动取下，再使用天平称重，记录电脑输入的量和实际加到计量桶内的药液质量的数据，称重后将药液手动倒掉，并放回到原位置，基于质量和密度计算出实际加药量(体积L)，继续下一次药液的测量，这样连续确认六次，取得六次实际加药量与电脑输入的量的对比数据，根据数据计算补偿值，输入补偿值修正流量计。

化学水浴沉积镀膜药液通常具有剧毒或腐蚀性，对人体有伤害，上述的流量计校准方法，在药液校准时需要手动搬运计量桶，搬运过程容易将药液溅洒到操作人员身上，即使在穿戴防护服、口罩及防护镜的情况下，也容易对人体造成损害，操作人员安全风险较高，并且校准效率较低。

实用新型内容

有鉴于现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种安全风险较低、自动化程度较高的加药校准装置及化学水浴沉积镀膜装置。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种加药校准装置，其包括：储液装置；计量容器，其与所述储液装置连接；电控流量计，其连接在所述储液装置和所述计量容器之间，用于计量所述储液装置向所述计量容器输送药液的流量；质量检测装置，其用于计量所述计量容器的质量；控制器，其分别与所述电控流量计和所述质量检测装置连接，用于根据所述质量检测装置和所述电控流量计的计量结果校准所述电控流量计；导液泵，其与所述计量容器连接，用于排出所述计量容器内的药液。

在一些实施例中，所述控制器还与所述导液泵连接。

在一些实施例中，所述导液泵为气动泵。

在一些实施例中，所述加药校准装置包括多个所述储液装置和与所述储液装置一一对应的多个所述电控流量计。

在一些实施例中，所述质量检测装置位于所述计量容器的底部。

在一些实施例中，所述质量检测装置为电控计量称。

在一些实施例中，所述加药校准装置还包括显示装置，所述显示装置与所述控制器连接。

在一些实施例中，所述计量容器为计量桶。

本实用新型还提供了一种化学水浴沉积镀膜装置，其包括镀膜设备，所述化学水浴沉积镀膜装置还包括如上所述的加药校准装置，所述镀膜设备通过所述电控流量计与所述储液装置连接。

在一些实施例中，所述化学水浴沉积镀膜装置还包括废液存储装置，所述废液存储装置与所述导液泵和所述镀膜设备的连接。

与现有技术相比，本实用新型的加药校准装置及化学水浴沉积镀膜装置，结构简单，控制器能够根据质量检测装置和电控流量计的计量结果校准电控流量计，通过导液泵能够排出计量容器内的药液，无需操作人员手动搬运计量容器，避免药液溅洒到操作人员身上，安全风险较低，自动化程度较高，有益于提高校准效率。