[实用新型]光罩运输设备有效
| 申请号： | 201821253884.1 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN208772040U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光罩 载具 运输设备 传输 本实用新型 机械手臂 进气管道 喷嘴 微尘 净化气体源 晶圆产品 图形失真 净化 洁净度 良率 运输 | ||
1.一种光罩运输设备，包括：
机械手臂；
光罩传输载具，以固定光罩，所述光罩传输载具与所述机械手臂连接；
其特征在于，所述光罩运输设备还包括微尘净化喷嘴、进气管道及与所述进气管道连接的净化气体源，所述微尘净化喷嘴设置于所述光罩传输载具上。
2.根据权利要求1所述的光罩运输设备，其特征在于，所述进气管道由一净化气体柱塞阀控制。
3.根据权利要求1所述的光罩运输设备，其特征在于，所述净化气体源还与光罩室净化气体管道连通并通过所述光罩室净化气体管道向光罩室净化喷口提供净化气体。
4.根据权利要求1所述的光罩运输设备，其特征在于，在所述光罩运输设备上还设置有内部光罩检测系统，以检测所述光罩上的微尘量。
5.根据权利要求4所述的光罩运输设备，其特征在于，当所述光罩载入所述光罩传输载具时，对所述光罩上的微尘量进行检测。
6.根据权利要求1所述的光罩运输设备，其特征在于，所述光罩传输载具将所述光罩载入内部光罩库存储或者将所述光罩载入曝光转台进行曝光。
7.根据权利要求6所述的光罩运输设备，其特征在于，当所述光罩存储于所述内部光罩库中时，以介于5小时/次～6小时/次的检测频率对所述光罩上的微尘量进行检测。
8.根据权利要求1所述的光罩运输设备，其特征在于，所述微尘净化喷嘴喷出的气体包括洁净干燥压缩空气。
9.根据权利要求8所述的光罩运输设备，其特征在于，所述微尘净化喷嘴上设置有电磁阀以控制所述微尘净化喷嘴。
10.根据权利要求9所述的光罩运输设备，其特征在于，所述微尘净化喷嘴的喷吹方向对准所述光罩的上表面，以喷吹去除所述光罩上表面附着的微尘颗粒。
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