[实用新型]用于微小零件氦质谱检漏的密封工装

权利要求书

1.一种用于微小零件氦质谱检漏的密封工装，其特征在于，包括真空接口组件(1)，所述真空接口组件(1)为一体成型的焊接结构，所述真空接口组件(1)的内部具有阶梯状的管壁结构；

所述真空接口组件(1)的一端为下游端，具有用于连接氦质谱检漏仪的第1接口(1.1)；其相对一端为上游端，具有用于连接被检测件的第2接口(1.2)；并且，所述第2接口(1.2)通过紧固密封组件与所述被检测件密封紧固连接；在所述真空接口组件(1)的内部具有与所述被检测件的管件导通的通道。

2.根据权利要求1所述的用于微小零件氦质谱检漏的密封工装，其特征在于，所述紧固密封组件为用于与所述被检测件的外壁紧固密封连接的结构，所述紧固密封组件包括第一接口压环(2)、第一接口旋紧螺纹套(3)和第一密封件(4)；

所述第一接口压环(2)按压于所述真空接口组件(1)的第2接口(1.2)的开口部位；所述第一密封件(4)设置于所述第一接口压环(2)和所述第2接口(1.2)的口内平台之间；所述第一接口旋紧螺纹套(3)套于所述第一接口压环(2)的外部，并与所述第2接口(1.2)螺纹连接；所述第一接口旋紧螺纹套(3)、所述第一接口压环(2)和所述第一密封件(4)的中心开设相互贯通的用于使所述被检测件穿过的通孔(11)。

3.根据权利要求1所述的用于微小零件氦质谱检漏的密封工装，其特征在于，所述紧固密封组件为用于与所述被检测件的内孔壁紧固密封连接的结构，所述紧固密封组件包括：

接头固定套(8)，所述接头固定套(8)部分置于所述真空接口组件(1)的所述第2接口(1.2)内且用于轴向插入所述被检测件，所述接头固定套(8)的靠近所述被检测件一端具有外翻边结构；

第二接口压环(9)，所述第二接口压环(9)套设于所述接头固定套(8)上，所述第二接口压环(9)与所述接头固定套(8)的所述外翻边结构之间设置第二密封件(12)；

第二接口旋紧螺纹套(10)，所述第二接口旋紧螺纹套(10)的一端卡于所述第二接口压环(9)的径向外端，其相对一端与所述真空接口组件(1)的第2接口(1.2)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的用于微小零件氦质谱检漏的密封工装，其特征在于，还包括管头密封组件，所述管头密封组件包括螺帽(5)、堵头本体(6)和第三密封件(7)；

所述堵头本体(6)设置于所述螺帽(5)的内腔中，且与所述螺帽(5)螺纹连接；在所述螺帽(5)和所述堵头本体(6)之间设置所述第三密封件(7)；所述螺帽(5)的底端、所述第三密封件(7)和所述堵头本体(6)的底部，开设相互贯通的供所述被检测件的端部穿进的通孔。