[实用新型]一种实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统有效
申请号: | 201821259326.6 | 申请日: | 2018-08-06 |
公开(公告)号: | CN208579840U | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 宋兴;张学敏;张建 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;F16B11/00;G02B27/34 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 陈广民 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光轴 经纬仪 胶合 干涉仪 准光 经纬 本实用新型 平行光管 十字分划板 成像镜头 成像相机 激光器 夹角为 相交 同心 光轴夹角 焦面位置 依次设置 实体型 水平台 载物台 装调 底座 装配 | ||
本实用新型属于光学装配领域,具体涉及一种实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统。本实用新型解决了现有的实体型Sagnac干涉仪装调精度较低的问题。本实用新型实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统,包括水平台、载物台、干涉仪胶合底座、激光器、十字分划板、平行光管、第一经纬仪、第二经纬仪、第一自准光管、第二自准光管、成像镜头、成像相机;激光器、平行光管和第二经纬仪依次设置,且三者的光轴均同心;十字分划板位于平行光管的焦面位置,第一经纬仪与成像镜头、成像相机的光轴均同心;第一经纬仪的光轴与第二经纬仪的光轴夹角为90°;第一自准光管的光轴与第一经纬仪的光轴相交,夹角为22.5°;第二自准光管的光轴与第二经纬仪的光轴相交,夹角为22.5°。
技术领域
本实用新型属于光学装配领域,具体涉及一种实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统。
背景技术
基于横向剪切干涉的空间调制型傅里叶变换成像光谱仪回避了运动部件和扫描机构所带来的技术困难,具有高稳定性、高通量以及可对光谱进行实时测量等优点。横向剪切干涉仪是空间调制型傅里叶变换成像光谱仪的核心和关键部件,其典型代表为Sagnac干涉型横向剪切干涉仪和迈克尔逊干涉型横向剪切干涉仪。Sagnac干涉型横向剪切干涉仪由于采用了三角共光路的结构,受外界振动、气流等因素的影响较小,抗干扰能力强,应用最为广泛。
图1是一个典型的Sagnac干涉仪,其主要由两个半五角棱镜组成,入射的准直光束在棱镜分光面处的入射角为45°,一路光束反射后按顺时针方向传送,另一路光束透过分光面按逆时针方向传输。如果两个半五角棱镜相对分光面对称组合,两路光束在干涉仪出射面上与光轴的方向相同且位置重合;如果对着入射面沿分光面发生偏移,形成非对称组合,入射光线经过Sagnac干涉仪的横向剪切,将分割成两条相干光线。
干涉仪对各部件的位置安装精度有着很高的要求,干涉仪安装位置精度要求优于0.01mm,安装角度精度要求优于1,反射镜的方位及俯仰方向的装配误差要求优于0.5μm,使得实体型Sagnac干涉仪的精密装调较为困难。目前还尚未见有能够提高实体型Sagnac干涉仪装调精度的系统。
发明内容
为解决现有的实体型Sagnac干涉仪装调精度较低的问题,本实用新型提出了一种实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统,其结构简单、易实现,可实现实体型Sagnac干涉仪的精密装调。
本实用新型解决上述问题的技术方案是,一种实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统,其特殊之处在于:
包括水平台、载物台、干涉仪胶合底座、激光器、十字分划板、平行光管、第一经纬仪、第二经纬仪、第一自准光管、第二自准光管、成像镜头、成像相机;
载物台、激光器、十字分划板、平行光管、第一经纬仪、第二经纬仪、第一自准光管、第二自准光管、成像镜头和成像相机均设置在水平台上,干涉仪胶合底座放置在载物台上;激光器、平行光管和第二经纬仪依次设置,且三者的光轴均同心;十字分划板位于平行光管的焦面位置,第一经纬仪与成像镜头、成像相机的光轴均同心,且第一经纬仪的光轴与第二经纬仪的光轴夹角为90°;
第一自准光管位于第一经纬仪靠近平行光管的一侧,第一自准光管的光轴与第一经纬仪的光轴相交,夹角为22.5°;第二自准光管位于第二经纬仪靠近成像镜头一侧,第二自准光管的光轴与第二经纬仪的光轴相交,夹角为22.5°;成像相机与计算机相连。
另外,本实用新型还公开了一种上述实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统的胶合方法,其特殊之处在于:包括以下步骤:
1)装调主平面的建立
1.1)将载物台放置在水平台上,再将干涉仪胶合底座放置在载物台上,用电子水平仪对干涉仪胶合底座进行调平,调平差小于2″;
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