[实用新型]表面具凸纹结构薄膜的曲面基板有效
| 申请号： | 201821264243.6 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN209014905U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 翁沛喜;许铭案 | 申请（专利权）人： | 许铭案;翁沛喜 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿军 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曲面基板 凸纹结构 薄膜 制程 解析度 光罩 光阻 本实用新型 激光直写 技术功效 影像技术 低成本 图案 制造 | ||
1.一种表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，其包括：一曲面基板，该曲面基板的表面具有一凸纹结构薄膜，且该凸纹结构薄膜的图案的解析度介于0.1-100微米之间。
2.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，该图案的解析度更介于0.5-100微米之间。
3.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，该图案的解析度更介于1-100微米之间。
4.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，该曲面基板选自下列基板之一：一玻璃曲面基板、一蓝宝石曲面基板、一陶瓷曲面基板、一塑胶曲面基板与一高分子复合材料曲面基板。
5.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，该曲面基板选自下列基板之一：一透明玻璃曲面基板、一透明蓝宝石曲面基板、一透明陶瓷曲面基板、一透明塑胶曲面基板与一透明高分子复合材料曲面基板。
6.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，该凸纹结构薄膜为一负型光阻材料薄膜。
7.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，该至少一图案的厚度介于0.1-100微米之间。
8.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，还包括：
一保护膜层，形成于具有该至少一图案的该光阻层上。
9.如权利要求8所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其特征在于，该保护膜为：一碳化硅薄膜层、一氮化硼薄膜层、一氧化硅薄膜层、一氧化铝薄膜层或一氧化锆薄膜层。
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