[实用新型]一种槽式制绒放料装置有效
申请号: | 201821270074.7 | 申请日: | 2018-08-07 |
公开(公告)号: | CN208580719U | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 刘庆平;邱江南;邵辉良;李超 | 申请(专利权)人: | 江西展宇新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制绒 花篮 右安装板 预设位置 左安装板 安装板 上料台 机械手 放料装置 种槽 本实用新型 方向提取 硅片 上料 承载 申请 | ||
1.一种槽式制绒放料装置,其特征在于,包括用于承载硅片的制绒花篮,还包括用于放置所述制绒花篮,以供机械手提取所述制绒花篮的上料台:
所述制绒花篮包括安装在左侧的左安装板和安装在右侧的右安装板;
所述左安装板、所述右安装板中的至少一个安装板上设置有标识,且所述上料台的预设位置处设置有与所述标识相对应的安放标识,其中,所述预设位置为用于对应放置所述制绒花篮的位置。
2.根据权利要求1所述的槽式制绒放料装置,其特征在于,所述左安装板底部或所述右安装板底部设置有第一凹槽;
所述上料台的所述预设位置处设置有与所述第一凹槽对应的第一凸块。
3.根据权利要求1所述的槽式制绒放料装置,其特征在于,所述左安装板底部的非中心位置处和所述右安装板底部的非中心位置处均设置有第二凹槽;
所述上料台的所述预设位置处设置有与所述第二凹槽对应的第二凸块。
4.根据权利要求1所述的槽式制绒放料装置,其特征在于,所述左安装板和所述右安装板为设有颜色标识的安装板,且所述左安装板上所设置的颜色标识与所述右安装板所设置的颜色标识不同;
所述上料台对应放置所述左安装板的位置处设置有与所述左安装板上的颜色标识相同的左安放标识、对应放置所述右安装板的位置处设置有与所述右安装板上的颜色标识相同的右安放标识。
5.根据权利要求1所述的槽式制绒放料装置,其特征在于,所述左安装板和所述右安装板为设有数字标识的安装板,且所述左安装板上所设置的数字标识与所述右安装板上所设置的数字标识不同;
所述上料台对应放置所述左安装板的位置处设置有与所述左安装板上的数字标识相同的左安放标识,对应放置所述右安装板的位置处设置有与所述右安装板上的数字标识相同的右安放标识。
6.根据权利要求1至5任一项所述的槽式制绒放料装置,其特征在于,还包括:
设置在所述上料台第一位置处的信号发射器、及设置在与所述第一位置相对应的第二位置处且与所述信号发射器相对应的信号接收器;其中,所述第一位置为用于对应放置所述左安装板的位置,所述第二位置为用于对应放置所述右安装板的位置;
与所述信号接收器相连、用于当所述信号接收器未接收到所述信号发射器发送的信号时,发出警报的报警器。
7.根据权利要求6所述的槽式制绒放料装置,其特征在于,所述信号发射器为光信号发射器。
8.根据权利要求6所述的槽式制绒放料装置,其特征在于,所述报警器具体为蜂鸣器或报警灯。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造