[实用新型]一种旋转钼靶材的表面处理装置有效
| 申请号： | 201821276449.0 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN209140519U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 文宏福 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | B24B5/04 | 分类号： | B24B5/04;B24B55/02;B24B55/04;B24B55/00;B24B41/06;B24B49/04;B24B41/02 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 吴静芝 |
| 地址： | 512000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滑动座 主轴箱 钼靶材 尾座 表面处理装置 旋转夹持机构 夹持件 磨具 旋转顶尖 机身 本实用新型 钼靶材表面 滑动设置 均匀一致 驱动连接 相向设置 装置处理 底座 划痕 枢接 光滑 配合 | ||
1.一种旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于，所述旋转钼靶材的表面处理装置包括：
机体，所述机体包括机身和底座；
旋转夹持机构，所述旋转夹持机构包括主轴箱、夹持件和尾座，所述主轴箱和尾座分别设置所述机身的两端，所述夹持件与所述主轴箱驱动连接，所述尾座上枢接有一旋转顶尖，所述夹持件和旋转顶尖相向设置；
滑动座，所述滑动座滑动设置在所述机身上，并位于所述主轴箱和尾座之间；
旋转磨具，所述旋转磨具设置在所述滑动座两侧。
2.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述尾座滑动设置在所述机身上，可朝向所述主轴箱往复直线运动。
3.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述旋转磨具包括移动机构和磨具本体，所述移动机构设置在所述滑动座上，并与所述磨具本体连接，可控制所述磨具本体发生移动。
4.根据权利要求3所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述旋转磨具包括第一旋转磨具和第二旋转磨具，分别设置在所述滑动座的两侧；所述第一旋转磨具的磨具本体旋转方向与所述夹持件的转向相同，所述第二旋转磨具的磨具本体旋转方向与所述夹持件的转向相反。
5.根据权利要求3所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述移动机构为三轴机械手，所述磨具本体安装在三轴机械手的端部。
6.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：还包括降温机构，所述降温机构设置在所述滑动座上。
7.根据权利要求6所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述降温机构包括一喷淋头，所述喷淋头可转动地设置在所述滑动座上。
8.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：还包括粗糙度测量机构，所述粗糙度测量机构设置在所述滑动座上。
9.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：还包括保护罩，所述保护罩设置在所述机身上，其一侧面为敞口。
10.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：还包括接料盘，所述接料盘设置在机身下方，其两端与底座连接。
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