[实用新型]一种具有三维结构表面的热阴极有效
| 申请号： | 201821277891.5 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN208655562U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 郝广辉;邵文生;张珂;李泽鹏 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | H01J1/13 | 分类号： | H01J1/13;H01J9/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热阴极 多孔钨 三维结构表面 本实用新型 浸渍 阴极 真空微波器件 元器件技术 凹陷结构 发射表面 规则排列 贵重金属 阴极电子 有效面积 发射 电子源 基表面 铝酸盐 开槽 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有三维结构表面的热阴极，包括浸渍铝酸盐的多孔钨基和形成于多孔钨基表面的贵重金属薄膜，其特征在于，所述多孔钨基的发射表面开槽形成规则排列的凹陷结构。
2.根据权利要求1所述的热阴极，其特征在于，所述凹陷结构包括若干V型沟道。
3.根据权利要求2所述的热阴极，其特征在于，所述沟道的上部宽度为5～50μm，深度为5～100μm，间距为5～100μm。
4.根据权利要求2所述的热阴极，其特征在于，所述沟道单向排列或相互交叉排列。
5.根据权利要求1所述的热阴极，其特征在于，所述多孔钨基的孔隙度为20％～30％。
6.根据权利要求1所述的热阴极，其特征在于，所述贵重金属薄膜厚度为0～2μm。
7.根据权利要求1所述的热阴极，其特征在于，所述贵重金属材料为锇、锇-铼合金、锇-钌合金或锇-铱-铝合金。
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