[实用新型]一种用于LDI曝光机的载具机构

权利要求书

1.一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，包括大底座(1)、滑杆(2)和载板片(3)，所述大底座(1)沿斜对角方向平行设有与所述滑杆(2)的直径相匹配的滑槽，所述滑杆(2)安装于所述滑槽内，所述载板片(3)的一边与所述滑杆(2)活动连接，所述载板片(3)的表面设有多个用于放置PCB板的PCB板槽(31)，所述PCB板槽(31)的周围还设置有多个用于LDI曝光机定位的定位孔(311)，所述PCB板槽(31)的左上角还设置有用于防止PCB板涨缩导致尺寸偏移的调节磁扣(312)。

2.根据权利要求1所述的一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，所述的滑杆(2)的两端还设置有用于与LDI曝光机动力机构连接形成机械传动的铁扣(4)。

3.根据权利要求2所述的一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，所述的铁扣(4)形状为三角形。

4.根据权利要求1所述的一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，所述的大底座(1)的底部还设有与LDI曝光机安装定位的凸块。

5.根据权利要求4所述的一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，所述的凸块的形状为半圆柱形。

6.根据权利要求4或5所述的一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，所述的凸块为铷磁铁材质凸块。

7.根据权利要求1所述的一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，所述的载板片(3)的个数为2个。

8.根据权利要求1所述的一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，所述的PCB板槽(31)的个数为6个。

9.根据权利要求1所述的一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，所述的定位孔(311)的个数为4个。

10.根据权利要求1所述的一种用于LDI曝光机的载具机构，其特征在于，所述的调节磁扣(312)的个数为1个。