[实用新型]乙硅烷的制备装置有效
| 申请号： | 201821282840.1 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN208700586U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 万烨;刘见华;严大洲;赵雄;郭树虎;赵宇 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 吴娅妮;于宝庆 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精馏塔 乙硅烷 本实用新型 过滤单元 制备装置 反应器 半导体行业 多晶硅 残液 高纯 制备 应用 | ||
1.一种乙硅烷的制备装置，其特征在于，包括：
过滤单元；
第一精馏塔，与所述过滤单元相连；
第二精馏塔，与所述第一精馏塔相连；以及
反应器，与所述第二精馏塔相连。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述过滤单元包括一个或多个过滤器。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述反应器为微通道反应器。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一精馏塔通过塔顶与所述第二精馏塔相连，所述第二精馏塔通过塔釜与所述反应器相连。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括依次相连的第三精馏塔、第四精馏塔和第五精馏塔，所述第三精馏塔与所述反应器相连。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述反应器通过顶部与所述第三精馏塔相连，所述第三精馏塔通过塔顶与所述第四精馏塔相连，所述第四精馏塔通过塔釜与所述第五精馏塔相连。
7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括杂质收集器，所述杂质收集器分别与所述第一精馏塔的塔釜、所述第二精馏塔的塔顶、所述第三精馏塔的塔釜、所述第四精馏塔的塔顶及所述第五精馏塔的塔顶相连。
8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括与所述第五精馏塔相连的吸附单元。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述第五精馏塔通过塔釜与所述吸附单元相连。
10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述吸附单元包括一个或多个吸附器。
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