[实用新型]一种基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器有效
| 申请号： | 201821282924.5 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN208063158U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 张树民;王国浩;刘建生;汪泉 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) 11226 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 声表面波谐振器 布拉格反射层 压电材料基板 反射层组 温度补偿 反射层 温度补偿结构 本实用新型 叉指结构 顶层 | ||
1.一种基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，所述反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层；所述声表面波谐振器还包括设置在其顶层的温度补偿结构。
2.根据权利要求1所述的基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述第一布拉格反射层的厚度与第二布拉格反射层的厚度相同或者不同。
3.根据权利要求2所述的基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述第一布拉格反射层的厚度在10μm-1000μm；和/或所述第二布拉格反射层的厚度在10μm-1000μm。
4.根据权利要求2所述的基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述第一布拉格反射层的材料为二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或碳化硅。
5.根据权利要求2所述的基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述第二布拉格反射层的材料为钨、氮化铝、氧化铪、氧化钛或氧化铊。
6.根据权利要求1所述的基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述反射层组为2-10组。
7.根据权利要求1所述的基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指结构的材料为铜、铝、铬、银或钛；和/或所述叉指结构的厚度为1μm-500μm。
8.根据权利要求1所述的基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述压电材料基板的材料为石英、铌酸锂或钛酸钡；和/或所述压电材料基板的厚度为50nm-1μm。
9.根据权利要求1所述的基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述温度补偿结构覆盖所述叉指结构层。
10.根据权利要求1所述的基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，其特征在于，所述温度补偿结构包括单层或多层结构。
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