[实用新型]机械手臂

权利要求书

1.一种机械手臂，其特征在于，包括手臂本体、基座和支撑结构；所述手臂本体用于承载晶圆，所述基座与所述手臂本体的端部连接；所述支撑结构包括相对的第一末端和第二末端，所述第一末端与所述基座倾斜连接，所述第二末端与所述手臂本体的中部连接。

2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述手臂本体包括连接臂以及至少一伸缩臂；所述连接臂的第一端部与所述基座连接、与所述第一端部相对的第二端部与所述伸缩臂连接，所述第二末端与所述连接臂的第二端部连接。

3.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，至少一伸缩臂包括沿所述第一端部指向所述第二端部方向依次连接的多节伸缩臂，每一所述伸缩臂上具有用于吸附所述晶圆的真空吸附孔。

4.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述支撑结构与所述基座及所述连接臂均为可拆卸连接。

5.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述支撑结构包括一支撑柱，所述支撑柱的相对两端分别与所述基座、所述连接臂的所述第二端部倾斜连接。

6.根据权利要求5所述的机械手臂，其特征在于，所述支撑柱与所述基座之间的夹角为15°～75°。

7.根据权利要求5所述的机械手臂，其特征在于，所述支撑柱能够沿其轴向进行伸缩运动，所述基座表面具有多个沿所述基座的轴向方向排列的连接结构，所述连接结构用于与所述支撑柱连接，以调整所述支撑柱与所述基座之间的夹角。