[实用新型]一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔有效
| 申请号： | 201821286148.6 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN208545490U | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 黄飞 | 申请（专利权）人： | 四川纳涂科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/511 |
| 代理公司： | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 | 代理人： | 王育信 |
| 地址： | 618500 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 谐振腔 沉积台 化学气相沉积 本实用新型 电动定位 金刚石膜 圆形开口 圆柱体形 螺线圈 石英窗 倒角 滑台 同轴 等离子体损失 微波输入功率 模式转换器 底面密封 上部侧面 竖直固定 微波输入 夹角为 同心的 圆环形 底面 滑块 | ||
1.一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，包括谐振腔本体、石英窗(10)、沉积台(3)、模式转换器(13)，其特征在于，所述谐振腔本体上部为圆柱体形，下部为倒角圆柱体形，所述倒角圆柱体相邻面的夹角为135°，所述谐振腔本体上部侧面竖直固定有电动定位滑台(6)，电动定位滑台(6)的滑块(15)上固定有环形螺线圈(7)，所述环形螺线圈(7)与谐振腔本体同轴，所述沉积台(3)位于谐振腔本体内部且与其同轴，所述谐振腔本体底部设有与其同心的圆形开口，所述圆形开口固定连接有微波输入结构，所述石英窗(10)为圆环形，位于沉积台(3)与谐振腔本体底面之间，且与沉积台(3)及谐振腔本体底面密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述谐振腔本体由双层不锈钢制成，其内部空间形成水冷通道。
3.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述谐振腔本体顶部设有进气口(5)，底部设有抽气口(11)，所述进气口(5)及抽气口(11)与谐振腔本体内部的空腔连通。
4.根据权利要求3所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述谐振腔本体顶部设有出水口(8)，底部设有注水口(2)，所述注水口(2)及出水口(8)与所述水冷通道连通。
5.根据权利要求4所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述微波输入结构包括波导管(1)及模式转换器(13)，所述模式转换器(13)与谐振腔本体同轴。
6.根据权利要求5所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述沉积台(3)为中空结构，其下部密封连接有导管(12)，导管(12)下端与谐振腔本体底部密封连接，所述导管(12)与沉积台(3)内部的空腔以及谐振腔本体的水冷通道连通。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
