[实用新型]一种阵列光衰减器

权利要求书

1.一种阵列光衰减器，其特征在于，包括若干个光衰减单元，其中每一所述光衰减单元包括准直器件和MEMS反射镜；所述准直器件用于将准直后的第一光信号照射在所述MEMS反射镜上，并接收所述MEMS反射镜基于所述第一光信号反射的第二光信号。

2.根据权利要求1所述的阵列光衰减器，其特征在于，针对任一所述光衰减单元，所述准直器件包括双芯光纤和准直透镜，所述双芯光纤包括出射光纤和接收光纤，所述准直透镜用于将所述出射光纤发出的出射光准直为所述第一光信号并照射在所述MEMS反射镜上。

3.根据权利要求2所述的阵列光衰减器，其特征在于，所述双芯光纤的输出端面设置于所述准直透镜的第一焦平面，所述MEMS反射镜设置于所述准直透镜的第二焦平面。

4.根据权利要求1所述的阵列光衰减器，其特征在于，还包括定位单元，所述定位单元上均匀设置有若干个凹槽，其中每一所述凹槽用于容置一个所述光衰减单元的准直器件。

5.根据权利要求1所述的阵列光衰减器，其特征在于，还包括垫块，每一所述光衰减单元的所述MEMS反射镜装设在所述垫块上。

6.根据权利要求1所述的阵列光衰减器，其特征在于，还包括若干个遮光单元；针对任一所述光衰减单元，所述遮光单元设置在所述准直器件与所述MEMS反射镜之间的光路外围，所述遮光单元用于遮挡所述光路的漏光。

7.根据权利要求1所述的阵列光衰减器，其特征在于，还包括密封壳体，所述密封壳体用于封装全部所述光衰减单元；

所述密封壳体表面设置有若干个通孔，每一所述光衰减单元的准直器件通过对应的所述通孔穿出，以接收和输出光信号。

8.根据权利要求7所述的阵列光衰减器，其特征在于，所述通孔与穿过所述通孔的所述准直器件之间填充有胶体材料或焊锡。

9.根据权利要求7所述的阵列光衰减器，其特征在于，还包括若干组管脚，所述若干组管脚固定设置在所述密封壳体上；针对任一所述光衰减单元，对应一组所述管脚通过金丝与所述MEMS反射镜连接，所述管脚用于向所述MEMS反射镜传输驱动电压，所述MEMS反射镜根据所述驱动电压调节旋转角度。