[实用新型]一种防粘附测试探针装置有效
| 申请号： | 201821300283.1 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN208608169U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 肖凯;赖伟 | 申请（专利权）人： | 台晶(重庆)电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 文芳 |
| 地址： | 401329 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试探针 吹气机构 测试头 固定座 测试探针装置 本实用新型 防粘附 工作效率 气流出口 气体喷射 次品率 停机 粘附 正对 测试 保证 | ||
1.一种防粘附测试探针装置，其特征在于：包括:
测试头固定座；
测试头，所述测试头安装在所述测试头固定座上；
测试探针，所述测试探针安装在所述测试头上；以及
吹气机构，所述吹气机构安装在所述测试头固定座上，所述吹气机构的气流出口正对所述测试探针。
2.根据权利要求1所述的防粘附测试探针装置，其特征在于：所述吹气机构包括：
压缩气体进气管，所述压缩气体进气管设置在所述测试头固定座上；
压缩气体喷射管，所述压缩气体喷射管的气流入口与所述压缩气体进气管的气流出口连通，所述压缩气体喷射管的气流出口正对所述测试探针；以及
气体压缩机，所述气体压缩机被配置为向所述压缩气体进气管输送压缩气体。
3.根据权利要求2所述的防粘附测试探针装置，其特征在于：所述吹气机构还包括气体阀门，所述气体阀门安装在所述测试头固定座上，所述气体阀门被配置为调节所述压缩气体进气管流向所述压缩气体喷射管的气流。
4.根据权利要求3所述的防粘附测试探针装置，其特征在于：所述气体阀门为三通阀门。
5.根据权利要求2所述的防粘附测试探针装置，其特征在于：所述气体压缩机为空气压缩机。
6.根据权利要求2所述的防粘附测试探针装置，其特征在于：所述压缩气体进气管的数量为2个，2个所述压缩气体进气管的气流出口分别与所述压缩气体喷射管的气流入口连通。
7.根据权利要求1-6任一所述的防粘附测试探针装置，其特征在于：所述吹气机构的气流出口与测试探针的距离为32-38cm。
8.根据权利要求1所述的防粘附测试探针装置，其特征在于：所述防粘附测试探针装置还包括PLC控制器，所述PLC控制器与所述吹气机构数据交互。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
