[实用新型]晶圆传送盒

权利要求书

1.一种晶圆传送盒，其特征在于，包括：

盒体，包括开口以及与所述开口相对的后壁；

后壁挡板，位于所述盒体内靠近所述后壁设置，所述后壁挡板上设置有多个平行于盒体的底面设置的卡槽，所述卡槽的槽口朝向所述开口。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒，其特征在于，还包括：传动装置，与所述后壁挡板连接，用于移动所述后壁挡板的位置。

3.根据权利要求2所述的晶圆传送盒，其特征在于，还包括：前门挡板，所述前门挡板连接至所述传动装置，用于通过前门挡板的开合带动传动装置来控制所述后壁挡板的位置。

4.根据权利要求3所述的晶圆传送盒，其特征在于，当所述前门挡板打开时，传动装置位于初始位，使得所述后壁挡板与晶圆位置之间具有一定距离；当所述前门挡板关闭时，传动装置带动所述后壁挡板朝向所述开口移动，使得所述后壁挡板上的卡槽能够与晶圆完全接触，使晶圆边缘置于所述卡槽内。

5.根据权利要求3所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述传动装置包括：齿轮、第一移动臂和第二移动臂；所述齿轮可转动的固定于所述盒体的底面；沿所述第一移动臂和第二移动臂的长度方向上均设置有齿纹，所述第一移动臂和第二移动臂可移动的固定于所述齿轮两侧的盒体的底面且与所述齿轮啮合；所述第一移动臂一端连接至所述后壁挡板，所述第二移动臂一端连接至所述前门挡板。

6.根据权利要求5所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述前门挡板上还具有垂直于所述盒体的底面设置的滑槽，所述第二移动臂的一端卡设于所述滑槽内，使得所述前门挡板可相对于所述第二移动臂在垂直于所述盒体的底面的方向上移动。

7.根据权利要求2所述的晶圆传送盒，其特征在于，包括两组所述传动装置，分别位于设置于所述盒体的底面靠近侧壁位置处。

8.根据权利要求1所述的晶圆传送盒，其特征在于，所述盒体的侧壁内侧设置有晶圆槽，用于搁置晶圆边缘；所述后壁挡板上的卡槽与所述晶圆槽位置对应。