[实用新型]一种用于退火炉的强对流风叶

说明书

本实用新型公开了一种用于退火炉的强对流风叶，包括支撑板、冷风进风管、加热箱和对流风叶本体，所述支撑板的内部设有冷风腔，冷风腔和支撑板右侧面的冷风进风管相互连通，本实用新型对流风叶本体后方的支撑板内部设有冷风腔，中间转轴上设有加热箱，能够根据实际需求选择对流风叶进入的是热风还是冷风，控制方便，结构简单，本实用新型对流风叶本体固定焊接在连接卡套上，连接卡套固定在中间转轴和固定套之间，且六组对流风叶本体卡合在固定套上与之相对应的对流风叶卡槽中，固定结构稳固，且便于拆装，对流风叶本体为矩形板状结构，便于清理，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种用于退火炉的强对流风叶。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，强对流风叶是退火炉中一种供对流使用的风叶，它在实际使用时存在以下弊端：

1.现有的对流风叶在实际使用时往往不能根据需求改变对流风的冷热，适用范围较小；

2.对流风叶在使用时表面容易粘附灰尘，由于风叶形状不规则，不方便清理，使用不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于退火炉的强对流风叶，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于退火炉的强对流风叶，包括支撑板、冷风进风管、加热箱和对流风叶本体，所述支撑板的内部设有冷风腔，冷风腔和支撑板右侧面的冷风进风管相互连通，所述冷风腔和支撑板前侧表面的冷风排出口相互连通设置，所述冷风排出口下方的冷风腔中设有六组与之相匹配的密封挡块，六组密封挡块的上表面通过一个半环状的转动环一体连接，所述支撑板的后方设有电机，电机的转轴固定焊接在贯穿支撑板前侧表面的加热箱上，所述加热箱的前端表面固定焊接有中间转轴，中间转轴上活动套设有固定套，所述固定套和中间转轴之间留有间隙，固定套和中间转轴之间的空隙处后端密封，前端开口，固定套上还设有六组呈圆环状贯穿固定套前侧表面的对流风叶卡槽，所述对流风叶卡槽中活动插合有对流风叶本体；

所述对流风叶本体呈矩形板状结构，六组对流风叶卡槽上对应的六组对流风叶本体呈圆形阵列状固定焊接在一个连接卡套上，连接卡套前端设有限位螺杆，所述加热箱的前表面设有热流出口，热流出口和加热箱内部的加热腔相连通，加热腔中设有电加热丝，电加热丝的两端分别与加热箱的内部的正极导线和负极导线之间电性连接，所述正极导线和负极导线远离电加热丝的端部均贯穿加热箱的外圈处设置，且正极导线和负极导线贯穿加热箱外圈处的一端固定焊接有环形的电性接触环，且正极导线和负极导线上的电性接触环分别贴合设在直流电池的正极接线和负极接线处，所述直流电池通过密封卡盖卡合在支撑板内部的槽体中。

优选的，所述冷风排出口呈弧形槽体状结构，冷风排出口设有六组，六组冷风排出口呈圆形阵列状分布，且六组冷风排出口之间彼此相隔二十四度设置。

优选的，所述转动环活动穿过支撑板表面的转动槽设置，且转动环活动穿过冷风排出口的中间位置。

优选的，所述连接卡套呈圆环状结构，连接卡套活动套设在固定套和中间转轴之间的空隙处。

优选的，所述限位螺杆同时贯穿中间转轴和固定套设置，且限位螺杆贯穿固定套的两端处均通过螺纹配合连接有限位螺母。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型对流风叶本体后方的支撑板内部设有冷风腔，中间转轴上设有加热箱，能够根据实际需求选择对流风叶进入的是热风还是冷风，控制方便，结构简单；