[实用新型]一种多晶硅片制绒刻蚀槽

说明书

本实用新型涉及太阳能电池生产领域。一种多晶硅片制绒刻蚀槽，包括装有第一刻蚀液的第一刻蚀槽（2）、第一搬运装置（3）、装有水的清洗槽（21）、第二搬运装置（5）、烘干室（22）、第三搬运装置（7）、装有第二刻蚀液的第二刻蚀槽（9），第一刻蚀槽（2）中安装有第一滚轮传动结构（1），清洗槽（21）中安装有第二滚轮传动结构（4），烘干室（22）中安装有第三滚轮传动结构（6），第二刻蚀槽（9）中安装有第四滚轮传动结构（8），烘干室（22）中安装有鼓风机（10）。本实用新型通过两个刻蚀槽，采用差异性配液比例刻蚀使制绒表面达到最优的制绒外观。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产领域。

背景技术

多晶硅由于制备工艺的差异，硅片本身的缺陷较严重，例如位错、层错等，同时表面有由于切割带来的机械损伤层，正是由于此类缺陷的影响，导致在酸制绒过程中，缺陷存在的地方由于激活能低，容易被过度刻蚀，称之为黑丝。在酸制绒过程中，虽然无法彻底消除黑丝，但是可以改善外观黑丝的严重程度，当前多晶制绒的模式为单个刻蚀槽，这种配置只能做到单槽单配比，无法达到最优的效果。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是：如何改善多晶制绒绒面外观。

本发明所采用的技术方案是：一种多晶硅片制绒刻蚀槽，包括装有第一刻蚀液的第一刻蚀槽（2）、第一搬运装置（3）、装有水的清洗槽（21）、第二搬运装置（5）、烘干室（22）、第三搬运装置（7）、装有第二刻蚀液的第二刻蚀槽（9），第一刻蚀槽（2）中安装有第一滚轮传动结构（1），清洗槽（21）中安装有第二滚轮传动结构（4），烘干室（22）中安装有第三滚轮传动结构（6），第二刻蚀槽（9）中安装有第四滚轮传动结构（8），烘干室（22）中安装有鼓风机（10），第一滚轮传动结构（1）的左端有第一传动链带（11），第一滚轮传动结构（1）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15），第二滚轮传动结构（4）的左端有第一传动链带（11），第二滚轮传动结构（4）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15），第三滚轮传动结构（6）的左端有第一传动链带（11），第三滚轮传动结构（6）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15），第四滚轮传动结构（8）的左端有第一传动链带（11），第四滚轮传动结构（8）的右端有第二传动链带（16），第二传动链带（16）的右侧有挡块（15）。

作为一种优选方式：第一滚轮传动结构（1）、第二滚轮传动结构（4）、第三滚轮传动结构（6）、第四滚轮传动结构（8）都由多个上滚轮（13）和多个下滚轮（14）组成。

作为一种优选方式：第一传动链带（11）和第二传动链带（16）都由左滚轮、右滚轮、缠绕在左滚轮和右滚轮钢丝网带组成。

作为一种优选方式：第一搬运装置（3）、第二搬运装置（5）、第三搬运装置（7）都由液压装置（20）、安装在液压装置（20）液压臂上的电机（19）、安装在电机（19）输出轴上的弯曲臂（18）、安装在弯曲臂（18）头部的真空吸盘（17）构成。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过两个刻蚀槽，采用差异性配液比例刻蚀使制绒表面达到最优的制绒外观。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是第一刻蚀槽结构示意图；

图3是第一搬运装置结构示意图；

其中，1、第一滚轮传动结构，2、第一刻蚀槽，3、第一搬运装置，4、第二滚轮传动结构，5、第二搬运装置，6、第三滚轮传动结构，7、第三搬运装置，8、第四滚轮传动结构，9、第二刻蚀槽，10、鼓风机，11、第一传动链带，12、多晶硅片，13、上滚轮，14、下滚轮，15、挡块，16、第二传动链带，17、真空吸盘，18、弯曲臂，19、电机，20、液压装置，21、清洗槽，22、烘干室。