[实用新型]薄膜压电器件有效
| 申请号： | 201821314464.X | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN208767338U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 罗超;何维嵩 | 申请（专利权）人： | 东莞希越电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 许彬 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市万江街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电薄膜 衬底 叠层 硅晶圆 振动板 本实用新型 压电器件 上表面 空腔 薄膜 制作 微机电系统器件 扬声器 喷墨打印头 常规结构 高温工序 上下表面 压电元件 优化结构 麦克风 生长 电极层 硅材料 良品率 附设 晶圆 可用 微泵 微镜 变形 贯通 覆盖 | ||
【权利要求书】：
1.薄膜压电器件，其特征在于：该器件具有硅晶圆衬底（1），该硅晶圆衬底（1）设有贯通的空腔（11），在空腔（11）一端头上覆盖压电薄膜叠层（2），并在该压电薄膜叠层（2）的上表面附设振动板（3），所述压电薄膜叠层（2）至少具有一层压电薄膜（21）及设在压电薄膜（21）上下表面的电极层（22）。
2.根据权利要求1所述的薄膜压电器件，其特征在于：所述振动板（3）是干膜，干膜为一层、两层或者多层材料。
3.根据权利要求1所述的薄膜压电器件，其特征在于：所述压电薄膜叠层（2）具有多层压电薄膜（21）时，相邻压电薄膜（21）之间电极被该相邻压电薄膜所共有。
4.根据权利要求1或3所述的薄膜压电器件，其特征在于：所述压电薄膜（21）的厚度小于5微米。
5.根据权利要求3所述的薄膜压电器件，其特征在于：所述各层压电薄膜（21）具有不同的相结构。
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