[实用新型]一种固晶机筛盘固晶横移机构有效
申请号: | 201821316559.5 | 申请日: | 2018-08-15 |
公开(公告)号: | CN208655688U | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 陈永胜;张晓飞 | 申请(专利权)人: | 奥特马(无锡)电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L21/67 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 梁永昌 |
地址: | 214101 江苏省无锡市锡山经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固晶机 筛盘 横移 模组 固晶 横移机构 伺服马达 本实用新型 表面固定 芯片 侧面固定 工作区域 工作台面 夹紧定位 任何位置 左右两侧 共用性 真空孔 工作台 气缸 吸住 节约 能源 配置 | ||
1.一种固晶机筛盘固晶横移机构,包括固晶机(1),其特征在于:所述固晶机(1)的右侧固定连接有X向横移模组(2),所述X向横移模组(2)的右侧固定连接有X向伺服马达(3),所述固晶机(1)顶部的左侧固定连接有Y向横移模组(4),所述Y向横移模组(4)的顶部固定连接有Y向伺服马达(5),所述固晶机(1)的底部固定连接有工作台(6),所述工作台(6)的底部活动连接有筛盘(7),所述工作台(6)的侧面固定连接有固定气缸(8)。
2.根据权利要求1所述的一种固晶机筛盘固晶横移机构,其特征在于:所述筛盘(7)底部的表面开设有真空孔(9)。
3.根据权利要求1所述的一种固晶机筛盘固晶横移机构,其特征在于:所述固晶机(1)顶部的右侧固定连接有真空装置(10)。
4.根据权利要求1所述的一种固晶机筛盘固晶横移机构,其特征在于:所述固晶机(1)的内部固定连接有支撑板(11),所述支撑板(11)两侧均贯穿固晶机(1)并延伸至固晶机(1)的外部。
5.根据权利要求4所述的一种固晶机筛盘固晶横移机构,其特征在于:所述支撑板(11)的上下两侧均活动连接有底座(12),所述支撑板(11)的外表面与底座(12)的外表面通过螺栓(13)螺纹连接。
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