[实用新型]一种硅片切割机废水处理装置

权利要求书

1.一种硅片切割机废水处理装置，包括多级按照由高到低的顺序依次设置有多级过滤箱（1）；其特征在于：所述过滤箱（1）内被竖直设置的隔板（2）和水平设置的滤布（3）分隔为沉降室（4）和清液室（5），所述清液室（5）侧壁上设置有溢流管（6），沉降室（4）侧壁上设置有进料管（7），相邻过滤箱（1）之间的溢流管（6）和进料管（7）之间通过输水管（8）相连；所述相邻过滤箱（1）内的滤布（3）的孔径大小按由高到低的顺序线性递减；所述第一级过滤箱（1）和最后一级过滤箱（1）上分别设置有进料斗（9）和排液管（10），所述进料斗（9）和排液管（10）分别与本级过滤箱（1）的沉降室（4）和清液室（5）连通。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机废水处理装置，其特征在于：所述沉降室（4）内还设置有导流板（11），所述导流板（11）尾端与沉降室（4）内壁之间的间隙为0.5-1mm。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机废水处理装置，其特征在于：所述沉降室（4）和清液室（5）内均设置有浑浊度传感器（12），过滤箱（1）上还设置有与浑浊度传感器（12）相连的控制器（13），所述控制器（13）上还设置有报警装置（14）。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割机废水处理装置，其特征在于：所述输水管（8）上还设置有截止阀（15）和连接抱箍（16）。

5.根据权利要求1所述的一种硅片切割机废水处理装置，其特征在于：所述进料斗（9）内还设置有过滤网（17）。

6.根据权利要求1所述的一种硅片切割机废水处理装置，其特征在于：所述过滤箱（1）底部设置有与沉降室（4）连通的排料口（18）。

7.根据权利要求1所述的一种硅片切割机废水处理装置，其特征在于：所述过滤箱（1）上设置有观察窗（19）。