[实用新型]一种光阻涂布装置

权利要求书

1.一种光阻涂布装置，其特征在于，包括光阻涂布机构、两个光阻残留去除结构、清洗液罐以及吹风机；

所述光阻涂布机构包括光阻存储器以及设置于所述光阻存储器下端面上的涂布组件，该涂布组件呈棱柱状，且该涂布组件的一个第一侧壁面与该光阻存储器的底壁连接，该光阻存储器的底壁上开设有条状出口，该涂布组件设置有沿着该第一侧壁面的中垂面设置的与该条状出口连通的涂布槽，该涂布槽从该第一侧壁面处延伸至与该第一侧壁面相对的侧棱处，且将该侧棱贯穿，该涂布槽的长度小于该涂布组件的长度且等于该条状出口的长度；

该光阻涂布机构本体的两个相互倾斜连接的第二侧壁面上分别设置有滑动槽，该滑动槽沿着该涂布组件的长度方向延伸；

该两个光阻残留去除结构分别设置于该两个第二侧壁面上且可沿着所述滑动槽滑动；所述光阻残留去除结构包括滑块、擦板、风嘴以及喷液嘴，所述滑块可滑动地设置于所述滑动槽中，所述滑块中设置有电机驱动机构以驱动该滑块沿着该滑动槽自动滑动，该擦板设置于该滑块上且其内侧面与该第二侧壁面的局部贴合，该擦板以及风嘴分别设置于该滑块上且位于该擦板两侧；

所述清洗液罐通过排液管与该喷液嘴连通，该吹风机通过排风管与该风嘴连通，该排液管上还设置有流量控制阀，以控制清洗液的流量，在多次清洗中分别采用不同的流量进行清洗。

2.根据权利要求1所述的一种光阻涂布装置，其特征在于，所述擦板的宽度为所述第二侧壁面宽度的一半。

3.根据权利要求2所述的一种光阻涂布装置，其特征在于，所述擦板可沿着所述第二侧壁面的宽度方向滑动地设置于该滑块上，且该擦板上设置有锁紧机构，使得锁紧时，该擦板相对该滑块固定，解锁时，该擦板可相对该滑块滑动。

4.根据权利要求1所述的一种光阻涂布装置，其特征在于，所述擦板的与所述第二侧壁面接触的一面设置有弹性层。

5.根据权利要求1所述的一种光阻涂布装置，其特征在于，所述擦板的宽度为所述第二侧壁面的宽度相同。

6.根据权利要求1所述的一种光阻涂布装置，其特征在于，所述侧面上开设有多个沿着宽度方向延伸的用于导引清洗液的导流槽。

7.根据权利要求1所述的一种光阻涂布装置，其特征在于，还包括控制芯片以及电池组件，该控制芯片以及电池组件均设置于所述滑块内，控制芯片以及电池组件分别与所述电机驱动机构连接。