[实用新型]还原炉电极、硅芯夹持装置及多晶硅还原炉

说明书

本实用新型提供了一种还原炉电极、硅芯夹持装置及多晶硅还原炉，涉及还原炉的技术领域。所述的还原炉电极，包括：电极本体，所述电极本体内部设有空腔，所述电极本体上设有电极头和电极座，所述电极头和所述电极座分别位于电极本体的两端；所述电极头的锥度为5.6°，所述电极头为铜材质，电极头的外表面设有电镀银层。以缓解现有技术中存在的电极与卡瓣贴合不牢的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及还原炉技术领域，尤其是涉及一种还原炉电极、硅芯夹持装置及多晶硅还原炉。

背景技术

电子级多晶硅生产9对棒还原炉电极是与多晶硅生产还原炉石墨卡瓣、硅芯及供电线缆的关键导电连接部件，既要保证其优越的导电性能，同时要有稳定可靠的结构保证其石墨卡座在硅芯质量不断增长，硅棒在还原炉内气流流动造成的硅棒摆动的情况下贴合良好，不发生虚接、拉弧现象。

目前国内多晶硅生产行业对于电子级多晶硅生产9对棒还原炉使用的原材料多为无氧紫铜铜棒制作，电极头采用99.9纯银电镀，头部锥度为20°。行业内电子级多晶硅生产9对棒还原炉电极锥度一般较大，在20°左右，此种锥度电极在还原炉运行期间存在瓣贴合不牢，电极局部过热、拉弧、打火、泄漏的问题。在使用期间造成还原炉停车，影响多晶硅连续生产。同时，电极打火可生成聚合物污染炉内多晶硅成品，造成产品质量下降。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提供一种还原炉电极，以缓解现有技术中存在的电极与卡瓣贴合不牢的技术问题。

基于上述第一目的，本实用新型提供的还原炉电极，包括：电极本体，所述电极本体内部设有空腔，所述电极本体上设有电极头和电极座，所述电极头和所述电极座分别位于电极本体的两端；

所述电极头的锥度为5.6°，所述电极头为铜材质，电极头的外表面设有电镀银层。

作为进一步的技术方案，所述电极头设有用于与石墨基座连接的螺纹。

本实用新型的第二目的在于提供一种硅芯夹持装置，以缓解现有技术中存在的电极与卡瓣贴合不牢的技术问题。

基于上述第二目的，本实用新型提供的硅芯夹持装置，石墨基座、卡瓣和所述的还原炉电极。

所述石墨基座开设有电极安装孔，电极头插入所述电极安装孔且与所述石墨基座螺纹连接；

所述卡瓣用于包覆硅芯周侧，并与所述硅芯固定连接。

作为进一步的技术方案，所述电极头与所述石墨基座之间设有密封件。

作为进一步的技术方案，还包括螺帽，所述螺帽套设在所述石墨基座上，并与所述石墨底座螺纹连接。

作为进一步的技术方案，所述卡瓣、所述螺帽和所述石墨基座的外表面均设有碳化硅涂层。

作为进一步的技术方案，所述卡瓣设置为2个，两个卡瓣之间通过销轴连接；

每一个所述卡瓣上均设有用于容纳硅芯的凹槽。

作为进一步的技术方案，所述凹槽的横截面呈V形。

作为进一步的技术方案，所述石墨基座上设有排气孔，所述排气孔贯穿所述电极安装孔。

本实用新型的第三目的在于提供一种多晶硅还原炉，以缓解现有技术中存在的电极与卡瓣贴合不牢的技术问题。

基于上述第三目的，本实用新型提供的多晶硅还原炉，包括所述的硅芯夹持装置。

本实用新型带来的有益效果为：