[实用新型]一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置

权利要求书

1.一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征在于：包括微波波导管（1）、插接在所述微波波导管（1）内的非金属放电管（2）、固定在所述非金属放电管（2）内壁处的辅助激发导体（3）、以及固定在所述微波波导管（1）上且向非金属放电管（2）内通入气体的涡旋气体发生装置（4）；所述辅助激发导体（3）上下两端都位于所述微波波导管（1）内部。

2.根据权利要求1所述的长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征是：所述非金属放电管（2）的中心轴线位置位于距离微波波导管（1）端面（1/4λ+kλ）处，λ为系统中微波波长，k为大于等于0的整数。

3.根据权利要求1所述的长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征是：所述辅助激发导体（3）贴合在所述非金属放电管（2）内壁上。

4.根据权利要求3所述的长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征是：所述辅助激发导体（3）圆周侧壁呈网格状。

5.根据权利要求3所述的长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征是：所述辅助激发导体（3）圆周侧壁呈螺旋线状。

6.根据权利要求3-5任一项所述的长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征是：所述辅助激发导体（3）上延伸形成有尖端（31）。

7.根据权利要求1所述的长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征是：所述涡旋气体发生装置（4）包括固定在所述微波波导管（1）上的环形金属固定板（41）、以及导气管（42），所述环形金属固定板（41）的内腔与非金属放电管（2）连通，所述导气管（42）一端穿过环形金属固定板（41）侧壁，且连通环形金属固定板（41）的内腔。

8.根据权利要求7所述的长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征是：所述导气管（42）与所述环形金属固定板（41）内壁平齐，所述导气管（42）与环形金属固定板（41）连接处的管段的轴向线与环形金属固定板（41）的轴向线的夹角a呈10-80度；

所述非金属放电管（2）一端与微波波导管（1）外壁平齐，另一端延伸出所述微波波导管（1）。

9.根据权利要求7或8所述的长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征是：所述导气管（42）在所述环形金属固定板（41）的圆周方向设置有若干个。

10.根据权利要求1所述的长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征是：所述辅助激发导体（3）为耐高温导电材料。